传感器与检测技术实验指南.docxVIP

实验一 压阻式压力传感器的压力测量实验 第一部分：压阻式压力传感器 一、 实验目的：了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和方法。 二、 基本原理：扩散硅压阻式压力传感器在单晶硅的基片上扩散出 P型或 N型电阻条，接成电桥。在压力作用下根据半导体的压阻效应，基片产生应力， 电阻条的电阻率产生很大变化，引起电阻的变化，我们把这一变化引入测量电 路，则其输出电压的变化反映了所受到的压力变化。 三、 需用器件与单元：压力源（已在主控箱）、压力表、压阻式压力传感器、 压力传感器实验模板、流量计、三通连接导管、数显单元、直流稳压源士 4V、 士 15V。 四、实验步骤： 1、 这里选用的差压传感器两只气咀中，一只为高压咀，另一只为低压咀。 本实验模板连接见图1-1,压力传感器有4端：3端接+2V电源，1端接地线，2 端为Uo+, 4端为Uo-。1、2、3、4端顺序排列见图1-1。端接线颜色通过观察 传感器引脚号码判别。 2、 实验模板上Rw2用于调节零位，Rw2可调放大倍数，按图1-1接线，模板 的放大器输出V02引到主控箱数显表的Vi插座。将显示选择开关拨到合适档位， 反复调节Rw2（Rw1旋到满度的1/3）使数显表显示为零。 3、 先松开流量计下端进气口调气阀的旋钮，开通流量计。 喽主控轴渺输出接主控薊数S表 喽主控轴渺输出 接主控薊数S表 图1-1 压力传感器压力实验接线图 4、合上