水射流导向激光技术.docxVIP

PAGE 1 PAGE 1 水射流导向激光技术  本文介绍了水导激光的基本原理、激光源、技术特点，并举例说明白水导激光技术在陶瓷和微形簧片加工中的应用。  激光最常应用的技术之一是激光加工。对于熔点高、硬度大、性质脆的材料采用激光加工有其优越性。它是利用能量密度极高的激光束照耀到工件上，使材料瞬间熔化或汽化，同时在冲击波的作用下将熔融材料微粒吹开，从而对工件进行切割、钻孔等加工作业。这种传统的激光加工技术因为有对工件的切割面四周产生热损伤及与熔屑微粒沾污问题，所以在坚硬材料和金属薄片精密微加工中的应用受到限制。1993年，瑞士科学家BeruoldRicherghagen在《应用物理》杂志上首先提出了水射流导向激光技术(waterjet-guidedlasertechnology)，亦称水导激光技术或微水刀激光技术(LaserMierojet，LMJ)，瑞士Synova公司B.carron等人与美国Synova公司A.Schreiner共同在2011年“国际科技大会”(Jntertech2011Conference)上发表论文：《水射流导向激光技术切割坚硬材料》(Hardmaterialcutingusingwaterjet-guidedlasertechnology)，介绍了水导激光技术对不同坚硬材料的切割加工。目前，水导激光技术已广泛应用于各工业部门包括半导体、太阳能、电子、医学、刀具加工、超硬材料加工、高亮度发光二极管、钟表以及汽车工业，等等。  1水导激光原理  水导激光的基本原理是把大功率脉冲激光束结合到水射流之中，如图1所示。大功率激光器的激光束通过光纤电缆传输到光度头上，由此通过透冒（透窗）聚焦到置于扁形的水腔底部的喷嘴。与此同时把纯洁的去离子脱氧过滤水以5至60MPa压力注入水箱内。水压大小取决于喷嘴直径，较大的喷嘴直径只需较低的水压。喷嘴直径一般为20至150μm。从喷嘴射出的柱状水射流借助水与空气之间的界面上的完全内反射给激光导向。激光束照耀到工件上对工件材料以熔融和汽化方式起烧蚀作用。 图1水导激光原理 2激光源  水导激光技术采用的激光源为1064波长以脉冲或光量开关工作的各种掺钕钇铝石榴石激光器(Nd：YAG(aser)。此外，闪光泵浦激光器和二极管泵浦红外激光器也都用过。近些年来新型激光器如圆盘激光器和光纤激光器已成功得到推广应用。以1064nm上下波长工作的红外激光器则是微加工薄金属片的首选激光器，因为它引起的热影响区较小。  以532nm和515nm波长工作的倍频光量开关二极管泵浦固体激光器(Frequency-doabledQ-switchedDPSS)和圆盘激光器由于它们与水汲取光谱有极好的兼容性已成为全部其它水导激光技术应用的标准激光源。对激光波长的唯一限制在于它必需与水传输光谱兼容，在光谱的绿区中显示为最小。在波长为532nm上下，水射流中的汲取系数a为最低(a=4E-4cm-1)。在波长为1064nm上下，汲取系数约大500倍(a=0.2cm-1)，波长为532nm时，在2.5cm长的水射流内光传输高达99.9%。波长为1064nm时，则达到60%。也就是说在波长532nm时，光汲取可忽视不计。在波长为1064nm时，光在水中的汲取不是问题，只要平均功率保持在大约200W以下即可。  3水导激光技术的特点  水导激光技术的性能异于传统的无水导激光。首先，由于水射流是圆柱状的，而且被导向的激光束是平行的，因此切割面是高度平行的，不产生坡度。工作距离（与水射流的稳定长度全都）可以是若干厘米长，取决于喷嘴的直径。使用最大的喷嘴直径时工作距离可超过10厘米。这样长的工作距离不需要昂贵的聚焦掌握光学器件。其二，水导激光防止了对材料的热损伤。因为在激光脉冲之间，切割边缘得到冷却。其三，污染物大为削减，因为水射流产生很大功能，有效地去除激光烧蚀作用产生的熔融物。在切割薄片的过程中由于有一层薄水膜掩盖在薄片表面上而避免了颗粒物沉积的沾污。已经被水射流冷却的颗粒物不会粘附在薄片表面。水射流作用在薄片上的机械力可忽视(0.1N)，因为射流直径很小，而且水压不高。这种切割过程不会产生碎屑或微裂纹。相比之下，传统激光切割中用的辅助气体射流施加的力约为1N，比水导激光的大10倍。水导激光技术消耗的水很少，平均约为1.5升/小时。   本文介绍了水导激光的基本原理、激光源、技术特点，并举例说明白水导激光技术在陶瓷和微形簧片加工中的应用。  激光最常应用的技术之一是激光加工。对于熔点高、硬度大、性质脆的材料采用激光加工有其优越性。它是利用能量密度极高的激光束照耀到工件上，使材料瞬间熔化或汽化，同时在冲击