基于超磁致伸缩材料的微位移驱动器特性研究.docVIP

基于超磁致伸缩材料的微位移驱动器特性研究 　　摘要　具有立方莱夫斯相结构的Rfe2赝化合物TbXDy（1-X）Fe2，在室温环境下具有极大的磁致伸缩量，应用这种材料研制的微位移驱动器，具有大位移、高分辨率及大输出力等特点。从驱动器使用角度出发，对这种材料的原理及特性进行了阐述，同时分析了超磁致伸缩驱动器的结构及特性。设计并研制了超磁致伸缩微位移驱动器，通过实验分析，驱动器的位移分辨率达0.5 nm，行程范围达40 μm，在精密及超精密加工领域有着广阔的应用前景。 　　关键词　磁致伸缩　位移　驱动器　磁场 　　中国图书资料分类法分类号　TH703.65 Research on the Performance of Micro-Displacement Actuator Based Giant Magnetostrictive Material 　　Jia Yuhui (Harbin Institute of Technology,Harbin,China) 　Tan Jiubin 　　Abstract: The false compound TbxDy(1-x)Fe2 which has the cubic and Laves-phase structure as Rfe2 possesses much larger magnetostrictive in room temperature. The micro-displacement actuator made by this material features large displacement, high-resolution and strong output force.The theory and properties of this material is described from the application point of view,the structure and performance of giant magnetostrictive actuator are also analyzed,and the actuator is designed and manufactured successfully. Experimentally, the resolving power of the actuator is of 0.5nm,the range of displacement is of 40μm. It has potential application in the precision and super precision machining field. 　　Key words:magnetostrictive　　displacement　　actuator　　magnetic field 　　由稀土元素（R）及过渡金属（M）构成的，具有MgCu2型结构的立方莱夫斯相化合物，表现出具有极大的室温磁致伸缩特性。特别是TbFe2在室温下，磁致伸缩应变量可以达到2.5×10-3，而RXR（1-X）Fe2型赝二元系化合物同时具有低的磁晶各向异性及相对大的磁致伸缩量，它具有输出力大、伸缩量大及能量密度高等特点，在很多领域得到广泛应用［1］。 　　在超精密加工技术中，微位移驱动技术作为其核心技术，直接关系着加工精度的技术指标。因而为了提高现代控制系统的性能，需要进一步开发更大功率、更快响应及进退自如的驱动器［2］。 　　由于超磁致伸缩材料具有的强力、大位移、刚性体结构等特点，将其应用于驱动器领域，将极大提高驱动器的性能指标，并且将进一步推动超精密加工领域的进步。 1　超磁致伸缩材料及特性 1.1　超磁致伸缩材料 　　磁致伸缩是指材料在磁场作用下，其长度（或形状）发生伸长或缩短的现象。具有较大磁致伸缩应变的材料称为磁致伸缩材料，如Ni、Ni-Co-Cr合金和Fe-14%Al合金的饱和磁致伸缩应变量仅有0.4×10-4～1×10-4，由于其饱和磁致伸缩系数(λs)值过小，没有得到广泛应用。最近国际上研制成一种多元稀土-铁莱夫斯相化合物（R′,R″)Fe2，其饱和磁致伸缩应变量达到1.5×10-3～2×10-3，相当于传统材料的20～50倍，所以称其为超磁致伸缩材料［3］。最早从事超磁致伸缩材料研究的是美国海军研究所，研制的TbXDy（1-X）Fe2化合物已商业化，他们采用悬浮区域熔炼（FSZM）和改进的布里奇曼（MB）两种方法生产各种尺寸和形状的材料。 1.2　材料的工作机理 　　稀土超磁致伸缩材料属立方晶体，其磁致伸缩系数一般是通过测量沿主轴（〈100〉,〈110〉,〈111〉）方向长度变化得到的，磁场从垂直转到平行于测量方向。其磁致伸缩系数