激光切割技术在高精密栏栅加工中的应用.docxVIP

PAGE 1 PAGE 1 激光切割技术在高精密栏栅加工中的应用  文章介绍了激光切割技术在高精密栏栅加工中的应用，并分析激光的平均输出功率、切割速度、脉宽和加工余量等因素对其切割质量的影响。  0前言  激光切割是利用经聚焦获得的高功率密度激光束照耀工件，使材料被照耀的区域迅即达到熔点，使之熔化和烧蚀，同时借与光束同轴的高速气流吹除熔融物质，从而实现割开工件的一种热切割方法。激光具有亮度高、方向性好、单色性好等性能，使其切割具有如下特点。  激光切割质量好，切缝也比较窄，其宽度一般在0.1～0.20mm。它的割缝边缘垂直度好，切割面光滑无毛刺，表面粗糙度一般能达到Ra12.5μm以上。激光能切割多种材料，既能切割金属材料又能切割各种非金属材料，而且易于实现自动掌握，有利于提高切割效率，所以激光特殊适合各种精密件的切割加工。  某单位在担当国家重点研究项目中，要使用一种高精密的栏栅做光学衍射试验，曾尝试利用包括化学腐蚀等各种方法进行加工，均未达到技术要求，成为研究过程一个技术难题，现利用激光对其进行试验加工和研究，试图解决这个工程难题。  1试验方法  栏栅的外形尺寸如图1所示，栏宽只有0.1mm，栏间距0.9mm，材料使用0.2mm厚度的不锈钢板。考虑到是薄板精密件，拟选用设备Nd：YAG固体激光加工机对其进行切割加工。之所以选用脉冲激光对栏栅进行切割加工，是考虑到如利用连续激光切割，切口底部熔渣多，切割质量也不高，而且由于过多的热量简单造成断栏。栏栅激光切割示意图如图2所示，辅助气体为氧气，喷嘴直径为1.5mm。 图1衍射栏栅图2激光切割原理图 详细加工步骤，首先用AutoCAD绘制出图样，留意需要预留一定的加工余量，再调用Export命令形成DXF文件，最终用激光器的数控系统调用该文件，实施加工。调整激光输出功率、脉宽、重复频率、切割速度和吹气压力等参数，进行多次切割试验。通过观看和分析这些参数对栏栅切割质量的影响，提出一条适合高精密栏栅激光切割的工艺参数。   文章介绍了激光切割技术在高精密栏栅加工中的应用，并分析激光的平均输出功率、切割速度、脉宽和加工余量等因素对其切割质量的影响。  0前言  激光切割是利用经聚焦获得的高功率密度激光束照耀工件，使材料被照耀的区域迅即达到熔点，使之熔化和烧蚀，同时借与光束同轴的高速气流吹除熔融物质，从而实现割开工件的一种热切割方法。激光具有亮度高、方向性好、单色性好等性能，使其切割具有如下特点。  激光切割质量好，切缝也比较窄，其宽度一般在0.1～0.20mm。它的割缝边缘垂直度好，切割面光滑无毛刺，表面粗糙度一般能达到Ra12.5μm以上。激光能切割多种材料，既能切割金属材料又能切割各种非金属材料，而且易于实现自动掌握，有利于提高切割效率，所以激光特殊适合各种精密件的切割加工。  某单位在担当国家重点研究项目中，要使用一种高精密的栏栅做光学衍射试验，曾尝试利用包括化学腐蚀等各种方法进行加工，均未达到技术要求，成为研究过程一个技术难题，现利用激光对其进行试验加工和研究，试图解决这个工程难题。  1试验方法  栏栅的外形尺寸如图1所示，栏宽只有0.1mm，栏间距0.9mm，材料使用0.2mm厚度的不锈钢板。考虑到是薄板精密件，拟选用设备Nd：YAG固体激光加工机对其进行切割加工。之所以选用脉冲激光对栏栅进行切割加工，是考虑到如利用连续激光切割，切口底部熔渣多，切割质量也不高，而且由于过多的热量简单造成断栏。栏栅激光切割示意图如图2所示，辅助气体为氧气，喷嘴直径为1.5mm。 图1衍射栏栅图2激光切割原理图 详细加工步骤，首先用AutoCAD绘制出图样，留意需要预留一定的加工余量，再调用Export命令形成DXF文件，最终用激光器的数控系统调用该文件，实施加工。调整激光输出功率、脉宽、重复频率、切割速度和吹气压力等参数，进行多次切割试验。通过观看和分析这些参数对栏栅切割质量的影响，提出一条适合高精密栏栅激光切割的工艺参数。   文章介绍了激光切割技术在高精密栏栅加工中的应用，并分析激光的平均输出功率、切割速度、脉宽和加工余量等因素对其切割质量的影响。  2试验结果与分析  利用脉冲激光对薄板材进行精亲密割，通常影响其质量的主要工艺参数有激光功率、切割速度、辅助气体流量及压力、脉宽、重复频率和加工余量等。下面分别分析和争论影响栏栅的激光切割质量的工艺参数。  2.1激光功率和切割速度  对于此薄板材栏栅加工来说，激光输出功率和切割速度是影响栏栅激光切割的最重要参数，功率和速度