硅片制绒胰和清洗.pptVIP

碱的腐蚀 利用低浓度碱溶液对晶体硅在不同晶体取向上具有不同腐蚀速率的各向异性腐蚀特性，在硅片表面腐蚀形成角锥体密布的表面形貌 ，就称为表面织构化，俗称制绒。角锥体四面全是由〈111〉面包围形成。 反应式为： Si+2NaOH+H2O →Na2SiO3 +2H2 ↑ ;制绒过程中的影响因素;制绒液中的异丙醇、NaOH、硅酸纳三者浓度比例决定着溶液的腐蚀速率和角锥体形成情况。 溶液温度恒定在80℃时发现腐蚀液NaOH浓度在1.5～4%范围之外将会破坏角锥体的几何形状 。 当NaOH处于合适范围内时，异丙??的浓度的上升会使腐蚀速率大幅度下降。;维持制绒液中IPA的含量为10 vol%，温度85 ℃，时间30分钟条件下： ;绒面的平均反射率随NaOH浓度的变化 ;降低硅片表面张力，减少气泡在硅片表面的粘附，使硅 片的金字塔更加均匀一致 气泡的直径、密度和腐蚀反应的速率限定了硅片表面织构的几何特征。气泡的大小以及在硅片表面停留的时间，与溶液的粘度、表面张力有关系。所以需要异丙醇来调节溶液的粘滞特性。 ;?? 制绒温度范围：75-81℃ ?? 温度过低：反应速度慢 ?? 温度过高：IPA将完全挥发加剧，晶面择优性降低; 经过去除损伤层后，硅片表面留下了许多肤浅的准方形的腐蚀坑。1分钟后，金字塔如雨后春笋，零星的冒出了头；5分钟后，硅片表面基本上被小金