硅片平整度知守识介绍.pptVIP

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  • 2021-12-06 发布于福建
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STIR/L- Site(Site Total Indicator Reading);SFPD/L-Site;SFPD/G-Site;SEMI Standard;Flatness Tools Principle : Capacitance sensor (ADE);局部平整度测量边缘问题;局部平整度测量边缘问题; 两种方式测量结果差异举例--- SFQD Trend;平整度SEMI 标准;常用硅片STIR数值举例;工艺过程硅片平整度变化;聚焦异常Flatness Values测量; 聚焦异常Flatness Values测量; 谢 谢 大 家 !

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