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第1页/共12页一、 JRW简介二、 JRW Layout三、 Piping Layout四、 The Outside第一页，编辑于星期六：三点 十四分。第2页/共12页1、JRW简介JRW system：Jas Rework，即光刻胶重工装置，其目的是剥离需要重工的JAS有机绝缘膜装置。先通过I-UV单元对有机绝缘膜进行曝光，再通过显影单元对曝光后的有机绝缘膜进行显影，最后再进过洗净单元的清洗，从而达到去除JAS有机绝缘膜的目的。 Panel Flow: LD → Conv. → I-UV → DEV → UD System Tact: 180 sec第二页，编辑于星期六：三点 十四分。第3页/共12页LD/ULD2、JRW Layout剥离基板上曝光后的Jas有机绝缘膜Developer UnitSub ArmRotary StageI-UVRoller Conveyor Unit17105mm对Jas有机绝缘膜进行曝光第三页，编辑于星期六：三点 十四分。第4页/共12页3、Piping Layout第四页，编辑于星期六：三点 十四分。第5页/共12页第五页，编辑于星期六：三点 十四分。第6页/共12页LD/ULD4、The OutsideDeveloperOut of stageDeveloper UnitDeveloper RinseSub ArmRotary StageI-UVRoller Conveyor UnitIn stage unitI-UV unit第六页，编辑于星期六：三点 十四分。第7页/共12页In stage Unit: 3 pin*5=15 pin31 roller.I-UV Unit: 5 pin*5=25 pinRoller Conveyor Unit：主要包括3段，每段都有38 roller. 第七页，编辑于星期六：三点 十四分。第8页/共12页Rotary StageSub Arm：up-hand down-hand ，各4 个arm，各12真空吸盘。Stage Unit: 3 pin*5=15 pin26 roller，1个静电消除器；第八页，编辑于星期六：三点 十四分。第9页/共12页Dev. 1: 3钢+32白roller，2个Nozzle，每个Nozzle上均匀分布5个显影液（0.5%）管路和6个CDA管路。Dev. 2: 39白roller； Dev. 3：16白+2钢+12白+4钢=34 roller；第九页，编辑于星期六：三点 十四分。第10页/共12页Rinse 1 High Press RinseRinse 2Air Knife：11 roller;Out of stage: 3*5=15 pin；29 roller，1个静电消除器。第十页，编辑于星期六：三点 十四分。第11页/共12页谢 谢 ！第十一页，编辑于星期六：三点 十四分。第12页/共12页感谢您的观看！第十二页，编辑于星期六：三点 十四分。
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