PERC SE 单晶电池工艺-培训资料.ppt

* * * * * * * PERCSE高效单晶电池 生产工艺培训 2019-05-04 JiaYueSOLAR * 第一页，编辑于星期二：十七点 四十三分。 前言-太阳能电池在整个光伏产业链中的位置 虚线部分为电池片在产业链中的位置 JiaYue SOLAR * 第二页，编辑于星期二：十七点 四十三分。 PERC电池结构与工艺流程 PERC SE 电池结构为在正面制备选择性发射结，背面沉积介质膜钝化层AlOx/SiNx，此结构可提高电池光电转换效率。 降低扩散层复合，提高光线的短波响应； 减少前金属电极与硅的接触电阻，提高短路电流、开路电压和填充因子； 降低背表面复合速率，提升开路电压； 增强背表面长波光反射效应，提升短路电流。 PERC SE电池结构 ARC(SiOx+SiNx) Ag Al BSF (Local) AlOx SiNx P-Si N-Si(SE) JiaYue SOLAR * 第三页，编辑于星期二：十七点 四十三分。 PERC电池结构与工艺流程 PERC高效电池工艺流程 制绒 扩散 刻蚀 热氧+AlOx+ SiNx PECVD/ARC 激光开槽 选择性发射结 丝网印刷 烧结 测试分选 退火 Texturing Diffusion Etching Hot Oxy+AlOx+ SiNx Passivation PECVD/ARC Laser grooving Selective Emitter Printing Firing Firing annealing JiaYue SOLAR * 第四页，编辑于星期二：十七点 四十三分。 PERC电池制程@制绒 制绒原理： 一定浓度、一定温度条件下，碱溶液与硅片反应，各向异性腐蚀； 目的： 去除表面损伤层，降低表面反射率（多次光吸收）； 化学反应式： Si + 2KOH + H2O → K2SiO3 + 2H2↑ 绒面结构： 多次光吸收原理图 表面金字塔结构 JiaYue SOLAR * 第五页，编辑于星期二：十七点 四十三分。 P- type Si 原理Principle： Si + 2KOH + H2O → K2SiO3 + 2H2↑ PERC电池制程@制绒 JiaYue SOLAR 第六页，编辑于星期二：十七点 四十三分。 PERC电池制程@扩散 扩散原理： 采用三氯氧磷（POCl3）液态源扩散方法，在硅片表面形成N型层； 目的： 形成PN结（太阳电池核心单元）； 化学反应式： 4POCl3+3O2 → 2P2O5+6Cl2↑ 2P2O5+5Si → 5SiO2+4P↓ 扩散装置示意图 JiaYue SOLAR * 第七页，编辑于星期二：十七点 四十三分。 P P P P P P P P P P P P P P P P P P P- type Si P P P P P P P P P P P P P N- type Si 原理Principle： 4POCl3+3O2 → 2P2O5+6Cl2↑ 2P2O5+5Si → 5SiO2+4P↓ 800~900℃ PERC电池制程@扩散 JiaYue SOLAR 第八页，编辑于星期二：十七点 四十三分。 ①SE电池： SE电池是选择性扩散电池（selective emitter）,由中电光伏（CSUN）的赵建华博士发明。即在金属栅 线（电极）与硅片接触部位进行重掺杂，在电极之间位置进行轻掺杂，这样的结构可降低扩散层复合，由此 可以提高光线的短波响应，同时减少前金属电极与硅的接触电阻，使得短路电流、开路电压和填充因子都得 到较好的改善，从而提高转换效率。 SE电池的主要特点是金属化区域磷高浓度掺杂，光照区域磷低浓度掺杂。金属化区域浓扩散区结深大， 烧结过程中金属等杂质不易进入耗尽区形成深能级，反向漏电小，并联电阻高；光照区域掺杂浓度低，短波 响应好，短路电流高；横向扩散高低结前场作用明显，利于光生载流子收集。 ②激光SE电池原理： 单晶硅片制绒后进行浅结热扩散，利用激光根据金属化图形将硅片扩散后形成的PSG层作为杂质源 进行掺杂处理，驱入实现局部重扩散。在原有的电池工艺基础上增加激光二次扩散制作SE电池。 ③激光SE电池工艺关键点： 要提高SE电池的光谱响应及光谱响应范围，提高电池效率，需要对电池正面无栅线区域制作浅的PN 结，又需要足够的P源以利于使用二次激光扩散。激光二次扩散的结深要与后续的正面银电极烧结相匹配。 使得正面银电极与电池片形成欧姆接触，且银电极不能烧穿结区。 PERC电池制程@SE(Selective Emitter,选择性发射极) JiaYue SOLAR * 第九页，编辑于星期二：十七点 四十三分。 SE单晶PERC电池 SEM形貌 SE