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微波CVD金刚石薄膜用作LED散热片的制备 摘要 由于金刚石具有骞婆下最高的热鼍叠。因此用化学气相沉积(CVD)制备的金刚石膜是大功率发光二极管(L6)理想的散热材藉.本文利用微波等离子体CVD研究了不同沉积工艺下金刚石薄膜的生长。用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱对得到的金刚石薄膜进行了表征，并将金刚石薄膜用作LED散热片的散热效果进行了检测。结果表明：在硅衬底上沉积20—30斗m的CVD金刚石薄膜可以有效地降低LED的工作温度；在相同的制备成本下，提高薄膜的厚度(甲烷浓度4％)比提高薄膜的质量(甲烷浓度2％)更有利于提高LED的散热效果。本研究表明微波等离子体CVD制备的金刚石薄膜是大功率LED的理想散热衬底材料。 关键词 微波等离子体；化学气相沉积；金刚石膜；散热片；LED 中图分类号TQl64 文献标识码A Microwave CVD diamond thin film for LED heat spreader Man Weidon91 Sun Leil Wu Yuqion92 Xie Pen91 Yu Xuecha01 Wang Jianhual (1．Provial Key Laboratory of Plasma ChemistryAdvanced Materials，Wuhan Institute of Technology，Wuhan 43