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工艺超纯介质管道安装技术 0. 引言： 随着电子、医药行业的迅速发展，生产工艺的不断升级，为了保证电子、医药的产品 运行的可靠性和优良的成品率，对动力系统的需求也越来越高。尤其在水气化的输送管道 上，水气化输送的介质，很多是直接参与产品制程。输送介质的纯度的提高也保证了产品 的成品率。为了保证输送管道内介质的纯度，应运而生了超纯介质管道，如： SUS316BA 管、 SUS316EP管、 SUS316卫生级管、 PVDF、Clean PP、Clean-PVC、 PFA管等。本文主要对 电子、医药工艺超纯介质管道安装技术进行简要介绍。 1. 超纯介质分类 超纯介质管道顾名思义是输送超纯介质，在电子和医药行业中的超纯介质有超纯气体 （N2 (6 N) 、 H2 (6 N) 、O2 (4.8 N) 、Ar (5.5 N) 、He (6N) 、SiH4 (5 N) 、PH3 (5.5 N) 、 AsH3 (5.5N) 、 B2H6 (5 N) 、SiH2Cl2 (2 N) 、 NH3 (5.5N) 、Cl2 (5 N) 、 BCl3 (5 N) 、 BF3 (4.5 N) 、SeH2 (5 N) 、GeH4 (4 N) 、CO2 (5 N) 、 H2S(4.8 N) 、CF4 (5 N) 、SF6 (5 N) 、 WF6 (5 N) 、CHF3 (4.8 N) 、C2F6 (4.5 N) 、 NF3 (4.8 N) 、 C3F8 (5 N) 等其中 N 为纯度的 表示方法， 5N 表示为 99.999% ， 5.5N 表示为 99.9995% ，以此类推） ，超纯水（电阻率 大于 18MΩ*cm ），化学品（酸： HF 、HNO 3 HCL 、 H2SO4 等、碱： NH 4 OH 29% 。 TMAH(25% 、2.38%) 、KOH(45%) 、NaOH 、 Na 2 CO 3 等、有机： Thinner(PGME 30%+PGMEA 70%) 、DMSO 、MEA 、 BDG 、 PGME 、PGMEA 、 NMP 、 NBA 、 IPA 、 Alcohol 、Acetone 等）。 2. 超纯介质管道基本知识 超纯介质管道主要是输送超纯介质，且保证输送过程中不会影响介质的纯度，在半导 体工艺制程中即使电子气体中百万分之几的微量杂质气体进入工序中就能导致质量下降， 使每个元件的信息量减少，从而使高密度集成电路产品的不合格率增加，故输送管道的选 择至关重要。 下面就超纯管道基本知识简要介绍： 2.1 塑料材质类 PVDF 管：聚偏氟乙烯 Clean-PP ：洁净聚丙烯 Clean-PVC ：洁净聚氯乙烯 Clear PVC ＋ PFA ：双套管（外管透明的聚氯乙烯、内管聚四氟乙烯） 2.2 不锈钢材质类 不锈钢管道处理方式一般分为 AP 、 MP 、 BA 、 EP 、 V+V 。 AP ：酸洗管 (Acid pickling) ； MP: 机械研磨处理或称机械抛光 (Mechanical Polish) ； BA ：光辉烧钝处理或称光辉退火 (Bright Anneal treatment)/(Bright Annealing) BA 级管道内壁平均表面粗糙度 Ra 小于等于 m； m EP ：电解研磨处理 (Electro Polish) 0.25 μ m , 最大表面糙度 Rmax EP 级管道内壁平均表面粗糙度 小于等于 3.0 μ Ra 小于等于 0.08 μ m, 最大表面粗糙度 Rmax 小于等于 0.5 μ m； V+V ：真空二重溶解超清精钢或称双真空熔炼 Vim(Vacuum Induction Melting) +Var (Vacuum Arc Remelting) 管道材质处理流程： EP: 光亮退火 --- 无损检测 --- 化学抛光 ---- 电抛光 BA: 光亮退火 --- 无损检测 --- 一次清洗 AP: 热处理 --- 无损检测 --- 化学抛光 3. 超纯介质管道使用分类 在电子、医药工艺中常用的超纯介质管道按照气体、化学品、纯水专业来划分管道材 料。 电子气体输送管道一般常用材料为 SUS316BA管、 SUS316EP管， SUS316BA管多用在大 宗气体上， SUS316EP则用在高纯气体和特殊气体上。管道连接方式为全自动轨道焊接。 化学品输送管道一般常用材料为 寸的输送管道（