讲稿pma26软件手册.pdfVIP

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  • 2022-03-20 发布于北京
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第1 章 首要步骤 面内振动测量仪(PMA),用于测量放大镜下被测物体的面内振动,如MEMS器件。基于 频闪法的面内振动测量,获取目标的激励相位、频率和振幅等参数。该软件具有以下功能: • 硬件 • 设置 的参数 • 数字化信号 、 和分析 1.1 软件安装 系统软件在出厂时已经安装好,不建议用户自行安装。 1.2 硬件集成 软件用于 摄像头和频闪照明单元。摄像头用于捕捉目标 图像;连接箱用于产生模拟 激励信号和数字 信号。 1.3 软件启动 1、 检查hardlock

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