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- 2022-03-20 发布于北京
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第1 章 首要步骤
面内振动测量仪(PMA),用于测量放大镜下被测物体的面内振动,如MEMS器件。基于
频闪法的面内振动测量,获取目标的激励相位、频率和振幅等参数。该软件具有以下功能:
• 硬件
• 设置 的参数
• 数字化信号 、 和分析
1.1 软件安装
系统软件在出厂时已经安装好,不建议用户自行安装。
1.2 硬件集成
软件用于 摄像头和频闪照明单元。摄像头用于捕捉目标 图像;连接箱用于产生模拟
激励信号和数字 信号。
1.3 软件启动
1、 检查hardlock
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