瑞思杰尔 RSG1000S射频电源 中文版.pdf

常州瑞思杰尔电子科技有限公司 操作手册 RSG 1000S 射频电源 设备标识： 联系方式 公司地址：江苏省常州市新北区高新科技园2 号楼A307 公司网站： 电子邮箱：rishige@163.com 电话：0519 传真：0519 技术支持：0519 Copyright@2010-2030Rishigecorporation. Allrights reserved 0 常州瑞思杰尔电子科技有限公司 目录 一．概述 …………………………………………………..2 二．主要技术性能 ……………………………………….2 三．电路框图 ……………………………………………..3 四．设备安装尺寸 ………………………………………..4 五．系统连接………………………………………………4 六．设备前面板功能说明 ………………………………..5 6.1开关键按键功能说明 …………………………...5 6.2 工作界面显示说明 ……………………………...6 6.3 设置菜单说明 ……………………………………..7 6.4 Menu Mode” Rst 9 设置按键 “ ”“ “ ”功能说明 七、设备后面板功能说明 ………………………………9 八、串口通讯控制说明……………………………….12 九、设备常见故障排除 ……………………………...20 十、设备的日常维护 …………………………………..20 十一、产品执行标准 ………………………………….20 Copyright@2010-2030Rishigecorporation. Allrights reserved 1 常州瑞思杰尔电子科技有限公司 一． 概述 RSG1000S 射频电源产品广泛应用于等离子清洗、蚀刻、射频溅射、ICP、CVD、PVD 以及激光等领域。可替代电子管电源以提高可靠性，也可替代进口射频电源，降低系统设备 的成本。该产品有以下特点： ● 设备采用全固态、风冷设计，小尺寸、长寿命。 ● 经过特殊设计的功率采样电路能够在整个动态范围内精确地测量出正向和反向功 率，使显示的精确度达到一个很高的水平。 ● 结合具有专利技术的功率闭环控制电路，电源输出非常稳定。即使在运行中负载阻 抗有小范围的波动，电源的输出也能够快速跟随用户的设定值，保证了工艺流程的 稳定性和重复性。 ● 设备控制模式灵活、多样，既有本地键盘操作的人机界面，也有可连接PLC 系统的 模拟控制接口，以及供计算机控制的RS232C\485 的通讯端口，从设备地址和波特 率可通过本机界面灵活设置。可以方便用户通过各种接口对设备运行参数进行访 问，非常便于系统的集成。 ● 设备使用OLED 数字显示，显示内容丰富、直观。 ● 设备具有过流、过压、过热，反射过大四种故障保护。 ● 特有的脉冲调制功能，为用户的工艺设计提供了更多选择。 ● 设备具有主从机功能，为用户的多台设备同步工艺提供了技术基础。 二技术指标：. 设备供电：AC200-240V，50\60Hz ，@15A 额定功率：5~500W，连续可调 输出频率：13.56MHz±0.005% 射频输出端口：L16(N) 功率设定和实际输出误差: 3W （在50Ω阻抗输出时） 输出功率稳定度： ±0.5% 脉冲调制参数：调制频率100Hz-30KHz,占空比1%-95%. （*注 1） 冷却方式：强制风冷 显示内容：控制模式、设定功率、正向功