形成黑斑片、黑心片主要成因(转发).pptVIP

* 各个厂家硅片位错密度： 7. 江西LDK（多晶） W21JX70100 位错密度很高，106～107个/cm2，尤其是晶界附近存在大量的微缺陷、位错排、位错群和小角晶界，从位错形状上看，应该是111面上的缺陷。 * 各个厂家硅片位错密度： * 各个厂家硅片位错密度： * 各个厂家硅片位错密度： * * 形成黑心片、黑斑片主要成因 * 序： 蒋仙2008年 7月份技术报告我看后深受启发。我采用蒋仙报告的数据为基础，参加当前EL照片中黑心片和黑斑片的来源确认实验的讨论。 * EL成像下黑心片、黑斑片的照片： * EL光强度和少子分布密度成正比： EL照片中黑心片和黑斑片是反映在通电情况下该部分没有发出1150nm的红外光，故红外相片中反映出黑心和黑斑，发光现象和硅衬底少数载流子浓度有关。 * 黑斑与杂质原子分布无关： B P C O Al Cr Mn Fe Ni 黑圈 2-1 1.30E+16 2E14 1e16 1.06E+18 7E13 5E12 1E13 1E13 1E14 2-2 1.31E+16 2e14 1e16 1.02E+18 7E13 5E12 1E13 1E13 1E14 黑斑 4-1 1.07E+16 1.10E+15 3.10E+16 1.31E+18 7E13 1E13 1E13 3E13 1E14 4-2 1.10E+16 1.00E+15 3