薄膜技术基础.pptxVIP

1;绪论;二、要求 了解并掌握薄膜材料最基本的制备技术和表征方法，最基本的薄膜生长理论和几个典型的应用； 多思考，多想象，多实践； 有一定的作业任务； 考查: 考试与读书报告 三、参考书 1 郑传涛，薄膜材料与薄膜技术，化学工业出版社，2004。 2 顾培夫，薄膜技术，浙江大学出版社，1990 。 3 杨邦朝、王文生，薄膜物理与技术，电子科技大学出版社，1994 。 4 王力衡、黄运添、郑海涛，薄膜技术，清华大学出版社，1991 。 ;下载课件：请登录 校园网教务系统，在其 中寻找该门课程;第1章 薄膜制备的真空技术基础;1、气体分子的运动速度及其分布 气体分子运动论认为： 气体的大量分子每时每刻都处于无规则的热运动之中，其平均速度取决于气体所具有的温度；同时，在气体分子之间以及气体分子与容器壁之间，发生着不断的碰撞过程，这种碰撞过程的结果之一是使气体分子的速度服从一定的统计分布。气体分子的运动速度υ服从麦克斯韦尔-玻耳兹曼（Maxwell-Boltzmann）分布： （1-1） 式中，M为气体分子的相对原子质量，T为热力学温度，R为气体常数。气体分子运动速度的一维分量υi （i=x,y,z三个坐标分量方向)均满足分布函数： （1-2） 上式表明：气体分子的速度分布只取决于分子的相对原子质量M与气体热力学温度T 的比值。 ; 根据式1-1，还可以求出气体分子的平均运动速度： （1-3） 可见：温度越高、气体分子的相对原子质量越小，则分子的平均运动速度越大；不同种类气体分子的平均运动速度也只与T/M的平方根成正比。  在常温??件下，一般气体分子的运动速度是很高的。比如在T=300K时，空气分子的平均运动速度υa ≈ 460m/s。  同时由气体的速度分布函数还可以证明，每摩尔气体分子的动能等于（3/2）RT，也只与其热力学温度有关。 ;2、气体的压力和气体分子的平均自由程; 描述气体压强的单位很多，如下表： 注：1托就是指在标准状态下，1毫米汞柱对单位面积上的压力。 本书采用我国国家标准规定采用的Pa（或 MPa、 Gpa）作为气体压力的基本单位。;（2）气体分子的平均自由程;3、气体分子的通量; 例： 作为上式的一个应用，我们来计算一下在高真空环境中， 清洁表面被环境中的杂质气体分子污染所需要的时间。;4、真空区域的划分;气体的流动状态和真空抽速;第14页/共32页;与分子流状态相比，黏滞流状态的气体流动模式要复杂得多。根据另一个无量纲参数——雷诺(Reynolds)准数Re划分气体的黏滞流状态。定义： （1-11） 式中，d为容器的特征尺寸（如管路的直径）；υ、ρ、η分别是气体的流速、密度和动力学黏度系数。 根据Re的大小，气体的黏滞流状态又可分为： （1）层流状态： Re1200 ，流速较低。气体分子的宏观运动方向与一组相互平行