电子级氢氟酸工艺介绍.docxVIP

电子级氢氟酸生产工艺介绍 概述 目前国内外制备电子级氢氟酸的常用提纯技术有精馏、蒸馏、亚沸蒸 馏、减压蒸馏、气体吸收等技术，这些提纯技术各有特性，各有所长。如 亚沸蒸馏技术只能用于制备量少的产品 ，气体吸收技术可以用于大规模的生产。另外，由于氢氟酸的强腐蚀性，采用蒸馏工艺温度较高时腐蚀会更 严重，因此所使用的 蒸馏设备一般需用铂、金、银等贵金属或聚四氟乙 烯等抗腐蚀性能力较强的材料来制造。 电子级氢氟酸生产装置设计与工艺流程布置密切相关，垂直流向布置，原料 ( 无水氢氟酸和高纯水 ) 与中间产物可以依靠重力自上而下流动，高纯氢氟酸的制备在中部，产品过滤、 灌装及贮存在底层。此布置可减少泵输送，节省能耗，降低生产成本，同时可避免泵对产品的二次污染。 生产工艺 将工业无水氢氟酸经 化学预处理 后，进入精馏塔通过 精馏操作，得到的氟化氢气体经冷却后，在吸收塔中用 超纯水吸收 ，并采用控制喷淋密度、气液比等方法使电子级氢氟酸进一步纯化，随后经μ m 以下超滤工序，最后在密闭洁净环境条件下 ( 百级以下 ) 进行灌装得到最终产品 ———电子级氢氟酸。 3生产方法的难点 分析控制与产品检测要求高 。制备电子级氢氟酸所应用的测试仪器如下 : (1) 电感耦合等离子高频质谱分析仪( ICP - MS)；(2)电感耦合等离子原子发射分析仪( ICP - AES)；(3)原子吸收分光光度计；(4)氧