第七章溶胶凝胶法制备薄膜及涂层材料演示文稿.pptVIP

7.3.3.4 干燥过程中相对湿度气氛在防止膜层开裂中的作用 在凝胶干燥过程中，溶剂与水分脱去的速度过快，极易造成膜层表面张力不均而使膜层开裂。实验过程中发现，直接干燥的样品很快发生开裂，而控制环境气氛保持一定的相对湿度能够明显改善膜层开裂状况。 图7-23是在40℃和60℃干燥温度下相对湿度与裂纹平均尺寸的关系曲线。 第六十二页，共九十一页。 图7-23 40℃和60℃干燥温度下相对湿度与裂纹平均尺寸的关系 第六十三页，共九十一页。 7.3.3.5 热处理升温速率对与薄膜开裂的影响 为确定膜层的热处理制度，一般的方法是将已胶凝化的凝胶研磨成粉末进行差热分析(DTA)、热重（TG）和红外吸收光谱分析(IR)，从而根据分析的结果来确定合理的热处理制度，热处理不适当则非常容易造成薄膜的开裂。 对于采用TEOS为起始原料的SiO2薄膜而言，比较各温度段不同升温速率对薄膜开裂的影响，其结果如表7-11。 第六十四页，共九十一页。 升温速率 试样 1 2 3 4 5 30～110℃ 1℃/min 严重开裂 严重开裂 严重开裂 严重开裂 严重开裂 0.5℃/min 轻度开裂 轻度开裂 轻度开裂 轻度开裂 轻度开裂 0.25℃/min 不开裂 不开裂 不开裂 不开裂 不开裂 110～210℃ 1℃/min 轻度开