电子衍射分析.pptVIP

负高压 电路系统 单色器 样品 光谱记录 激光束 光电倍增管 激光拉曼谱仪示意图 第三十一页，共四十九页。 第四节 电子能谱分析方法概述 用光或运动粒子束照射材料时会出现特征电子，由此产生电子能谱分析法。其中光电子能谱分析和俄歇电子能谱分析是常用的能谱分析方法。 光电子能谱仪由光源、样品室、能谱分析仪及信号处理与记录系统组成，样品室保持高真空(10-7~10-9Pa)。用X光照射获得样品芯层能级光电子谱；用紫外光照射获得样品价层能级光电子谱。 第三十二页，共四十九页。 X光电子能谱仪 型号：美国PE公司 PHI-5400型 基本原理：　　X射线光子的能量在 1000～1500ev之间，不仅 可使分子的价电子电离而 且也可以把内层电子激发 出来，内层电子的能级受 分子环境的影响很小。 同 一原子的内层电子结合能 在不同分子中相差很小，故它是特征的。光子入射到固体表面激发出光电子，利用能量分析器对光电子进行分析的实验技术称为光电子能谱。 第三十三页，共四十九页。 UV源 离子枪 进样系统 X射线源 过滤窗 单色器 样品室 能量分析器 检测器 扫描与记录系统 真空系统 光电子能谱仪方框图 第三十四页，共四十九页。 俄歇电子能谱仪亦由光源、样品室、能量分析器、信号处理与记录系统组成。用电子枪发射激发电子，用镜筒分析器测量俄歇电子的能量分布。 电子能谱分析的样品可以是固体、气体或液体(