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SPM 与AFM 工作原理的比较 肖国敏生医1 班 1 SPM （扫描探针显微镜）的工作原理 当探针与样品表面间距小到纳米级时，按照近代量子力学的观点，由于探针尖端的原子 和样品表面的原子具有特殊的作用力，并且该作用力随着距离的变化非常显著。当探针在样 品表面来回扫描的过程中，顺着样品表面的形状而上下移动。独特的反馈系统始终保持探针 的力和高度恒定，一束激光从悬臂梁上反射到感知器，这样就能实时给出高度的偏移值。样 品表面就能记录下来，最终构建出三维的表面 2 AFM （原子力显微镜） 2.1 AFM 基本原理 原子力显微镜的基本原理是：将一个对微弱力极敏感的微悬臂一端固定，另一端有一微 小的针尖，针尖与样品表面轻轻接触，由于针尖尖端原子与样品表面原子间存在极微弱 的 排斥力，通过在扫描时控制这种力的恒定，带有针尖的微悬臂将对应于针尖与样品表 面原 子间作用力的等位面而在垂直于样品的表面方向起伏运动。利用光学检测法或隧道 电流检 测法，可测得微悬臂对应于扫描各点的位置变化，从而可以获得样品表面形貌的 信息。下 面，我们以激光检测原子力显微镜（ Atomic Force Microscope Employing Laser Beam Deflection for Force Detection, Laser-AFM）——扫描探针显微镜家族 中最常用的一种 为例，来详细说明其工作原理。 图2: 激光检测原子力显微镜探针工作示意图 如图2 所示，二极管激光器（Laser Diode）发出的激光束经过光学系统聚焦在微悬臂 （Cantilever）背面，并从微悬臂背面反射到由光电二极管构成的光斑位置检测器 （Detector）。在样品扫描时，由于样品表面的原子与微悬臂探针尖端的原子间的相互作用 力，微悬臂将随样品表面形貌而弯曲起伏，反射光束也将随之偏移，因而，通过光电二极管 检测光斑位置的变化，就能获得被测样品表面形貌的信息。 在系统检测成像全过程中，探 针和被测样品间的距离始终保持在纳米（10e-9 米）量级， 距离太大不能获得样品表面的 信息，距离太小会损伤探针和被测样品，反馈回路(Feedback)的作用就是在工作过程中，由 探针得到探针-样品相互作用的强度，来改变加在样品 扫描器垂直方向的电压，从而使样品 伸缩，调节探针和被测样品间的距离，反过来控制 探针-样品相互作用的强度，实现反馈控 制。因此，反馈控制是本系统的核心工作机制。一般采用数字反馈控制回路，用户在控制软 件的参数工具栏通过以参考电流、积分增益和比例增益几个参数的设置来对该反馈回路的特 性进行控制。 2.2 AFM 的几种工作模式 接触模式： 微悬臂探针紧压样品表面，扫描过程中与样品保持接触。该模式分辨率较 高，但成像时探针对样品作用力较大，容易对样品表面形成划痕，或将样品碎片吸附在针尖上， 适合检测表面强度较高、结构稳定的样品。 横向力模式:是接触模式的扩展技术，针尖压在样品表面扫描时，与起伏力方向垂直的 横向力使微悬臂探针左右扭曲，通过检测这种扭曲，获得样品纳米尺度局域上与探针的横向作用 力分布图。可以对样品纳米级摩擦系数进行间接测量 轻敲模式：在扫描过程中微悬臂被压电驱动器激发到共振振荡状态，样品表面的起伏 使微悬臂探针的振幅产生相应变化，从而得到样品的表面形貌。由于该模式下，针尖随着悬臂的 振荡，极其短暂地对样品进行“敲击”，因此横向力引起的对样品的破坏几乎完全消失，适合检 测生物样品及其它柔软、易碎、易吸附的样品，但分辨率比接触模式较低。 相移模式：是轻敲模式的扩展技术，通过检测微悬臂实际振动与其驱动信号源的相 差（即两者的相移）的变化来成像。引起相移的因素很多，如样品的组分、硬度、粘弹性、环境 阻尼等。因此利用相移模式，可以在纳米尺度上获得样品表面局域性质的丰富信息。 抬起模式：该工作模式分两个阶段，第一阶段与普通原子力显微镜形貌成像一样，在 探针与样品间距1nm以内成像，然后，将探针抬起与样品距离一定高度，进行第二次扫描，该扫 描过程可以对一些较微弱但作用距离较长的作用力进行检测，如磁力或静电力。