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扫描电镜在钢铁产品研究 摘要:简要分析带能谱仪的扫描电子显微镜原理及特点,着重介绍了ZEISSEVO-M18型扫描电子显微镜在断口分析、定点成分分析、组织形貌分析、产品缺陷判定等方面的实际应用. 关键词：扫描电子显微镜；能谱仪；断口 1前言 扫描电镜及能谱仪是材料检测及研究领域一种主要的检测分析仪器,其特点 是可直接对断口形貌进行观察,无须破坏断口,对断裂部位进行最直接的原因分析,是其它检测仪器无法替代的,因此常用于失效分析.同时,在检测过程中,配合能谱仪对试样直接进行微区成分分析,对试样中的夹杂物、异物可直接进行定性、定量分析.目前,扫描电镜结合能谱仪,主要应用于材料断口分析、微区成分分析、