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第5章 图像传感器 ;5.1 CCD图像传感器; CCD(Charge Coupled Device)图像传感器由CCD电荷耦合器件制成,是固态图像传感器的一种,是贝尔实验室的W.S.Boyle和G.E.Smith于1970年发明的新型半导体传感器。
它是在MOS集成电路基础上发展起来的,能进行图像信息光电转换、存储、延时和按顺序传送。
它的集成度高、功耗小、结构简单、耐冲击、寿命长、性能稳定,因而被广泛应用。 ;5.1.1 CCD电荷耦合器件
CCD电荷耦合器件是按一定规律排列的MOS(金属—氧化物—半导体)电容器组成的阵列,其构造如图5-1所示。;图5-1 CCD电荷耦合器件 ; 在P型或N型硅衬底上生长一层很薄(约1200A)的二氧化硅,再在二氧化硅薄层上依次沉积金属或掺杂多晶硅形成电极,称为栅极。
该栅极和P型或N型硅衬底形成了规则的MOS电容器阵列。
加上两端的输入及输出二极管构成了CCD电荷耦合器件芯片。; 每一个MOS电容器实际上就是一个光敏元件。
当光照射到MOS电容器的P型硅衬底上时,会产生电子空穴对(光生电荷),电子被栅极吸引存储在陷阱中。
入射光强,则光生电荷多,入射光弱,则光生电荷少。
无光照的MOS电容器则无光生电荷。; 若停止光照,由于陷阱的作用,电荷在一定时间内也不会消失,可实现对光照的记忆。
MOS电容器可以被设计成线阵或面阵。
一维的线阵接收一条光线的照射。
二维的面阵接收一个平面的光线的照射。
CCD摄像机、照相机光电转换如图5-2所示。;景物; CCD电荷耦合器件的集成度很高,在一块硅片上制造了紧密排列的许多MOS电容器光敏元件。
线阵的光敏元件数目从256个到4096个或更多。
面阵的光敏元件的数目可以是500×500个(25万个),甚至2048×2048个(约400万个)以上,
现在已出现1200万以上的面阵。; 在CCD芯片上同时集成有扫描电路,
它们能在外加时钟脉冲的控制下,产生三相时序脉冲信号,
由左到右,由上到下,将存储在整个面阵的光敏元件下面的电荷逐位、逐行快速地以串行模拟脉冲信号输出。
;5.1.2 CCD图像传感器
MOS电容器实质上是一种光敏元件与移位寄存器合而为一的结构,称为光积蓄式结构,这种结构最简单。
但是因光生电荷的积蓄时间比转移时间长得多,所以再生图像往往产生“拖尾”,图像容易模糊不清。
另外,直接采用MOS电容器感光虽然有不少优点,但它对蓝光的透过率差,灵敏度低。; 现在更多地在CCD图像传感器上使用的是:
光敏元件与移位寄存器分离式的结构,
如图5-3所示。
; (a)单读示 (b)双读示
图5-3 光敏元件与移位寄存器分离式结构 ; 采用光敏二极管阵列作为感光元件,在受到光照时,产生相应于入射光量的电荷。
经过电注入法将这些电荷引入CCD电容器阵列的陷阱中,成为用光敏二极管感光的CCD图像传感器。
特点是灵敏度极高,在低照度下也能获得清晰的图像,在强光下也不会烧伤感光面。
CCD电容器阵列只起移位寄存器作用。 ; 图5-4为分离式的2048位MOS电容器线阵CCD电荷耦合器件示意图。;模拟信号传输移位寄存器;
图5-4中移位寄存器被分别配置在光敏元件线阵的两侧,奇、偶数号位的光敏元件分别与两侧的移位寄存器的相应小单元对应。
这种结构为双读式结构,它与长度相同的分离式相比较,可以获得高出两倍的分辨率。 ; 因为CCD移位寄存器的级数仅为光敏单元数的一半,可以使CCD特有的电荷转移损失大为减少,较好地解决了因转移损失造成的分辨率降低的问题。
面阵固态图像传感器由双读式结构线阵构成,它有多种类型。
常见的有行转移(LT)、帧转移(FT)和行间转移(ILT)方式。;5.1.3 CCD图像传感器的应用
CCD电荷耦合器件单位面积光敏元件位数很多、一个光敏元件形成一个像素,成像分辨率高、信噪比大、动态范围大,可以在微光下工作。
彩色图像传感器采用三个光敏二极管组成一个像素的方法。 ; 被测景物的图像的每一个光点由彩色矩阵滤光片分解为红、绿、蓝三个光点,
分别照射到每一个像素的三个光敏二极管上,
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