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LFP設備架構介紹_20211025.pdfVIP

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  • 2022-05-01 发布于山东
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LFP設備架構介紹_20211025.pdf

    LFP7004 覆晶型LED晶粒/晶圓點測機 ─ XY伺服馬達，移動精準快速 ─ BOSCH螺桿，剛性強壽命高 ─ 積分球向下收光設計 ─ 石英玻璃97%高穿透率(可見光) CONFIDENTIAL 1 機構設計 ─ 載盤: 4”~ 6”的玻璃盤或中空盤 ─ 子母環 Frame可共用設計 積分球 ─ 掃描600萬CCD ，可視範圍大，掃描速度快 左側探針座 右側探針座 ─ 點測變倍變焦鏡，可辨識小-大尺吋晶粒

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