常用半导体失效分析设备简介.pptxVIP

2022-5-7 博升机密 1 SEM-EDX 镀金和镀碳都是增强试样表面导电性的,关键是镀上的这个元素对分析是否会造成影响 看edx的时候建议镀碳是因为身为轻元素的碳元素在edx中信号强度弱，不会影响待测样品的元素分布 SEM观察时是利用二次电子(SE)和背散射电子(BSE);EDX利用的是X射线 SE和BSE分辨率不同:BSE是在一个较大的作用体积内被入射电子激发出来的,成像单元较大,分辨率较低。 2022-5-7 博升机密 2 X射线是每个元素的“指纹”！ X射线的能量是通过原子外两个轨道的能极差所反映的，它取决于原子序数，是每一个元素的唯一属性，因此可以用以判断元素类型。 2022-5-7 博升机密 3 FTIR 对有机物的测量，能谱仪似乎不太胜任，超轻元素分析误差很大。因此需要借助FTIR设备 FTIR(傅里叶变换红外光谱仪)主要由迈克尔逊干涉仪和计算机组成。迈克尔逊干涉仪(含半透半反镜)的主要功能是使光源发 出的光分为两束后形成一定的光程差，再使之复合以产生干涉，所得到的干涉图函数包含了光源的全部频率和强度信息。用计算机将干涉图函数进行傅里叶变换，就可计算出原来光源的强度按波数(k=2π/λ,即波长的倒数)的分布。对照吸收谱库中的标样图谱即可得出试样表面的成分情况。 2022-5-7 博升机密 4 RGA RGA(残留气体分析仪)广泛应用于半导体芯片行业和显示行业(LCD/OLED),多采用美国进口设备:英福康(Inficon)等，国内厂商匮乏。 RGA是一种能有效测量低压环境中存在的气体化学成分的质谱仪。它将气体的各个成分电离以生成各种离子，然后检测并确定质荷比。此过程在真空中效果更好，并且由于低压而更容易检测到杂质和不一致性。 2022-5-7 博升机密 5 OFDR 分布式光纤传感技术(DOFS)采集光纤中散射光来判断断点、损耗等情况 照 亮 三 维 世 界 的 新 光 源 深圳博升光电科技有限公司 info@ 2150 Shattuck Ave. Suite 1005 Berkeley, CA 94704-1620 广东省深圳市南山区留仙大道3370号南山智园崇文园区26楼