扫描电镜（课堂PPT）.pptVIP

第十二章 扫描电子显微镜;透射电镜的成像——电子束穿过样品后获得样品衬度的信号（电子束强度），利用电磁透镜（三级）放大成像。; 扫描电镜（SEM）的用途： ⑴ 断口形貌分析、金相表面形貌观察； ⑵ 成分分析（和电子探针结合）； ⑶ 材料变形与断裂动态过程原位观察。 分辨率：1nm以下（二次电子像）； 放大倍数：数倍～20万倍左右。;§12－1 电子束与固体样品作用时产生的信号;; 一. 背散射电子;特点：背散射电子来自样品表层几百纳米的深度范围，其产额能随样品原子序数的增大而增多。 作用：不仅能做形貌分析，还可定性作成分分析。; 二. 二次电子; 三. 吸收电子;特点：样品中原子序数较大的元素产生的背散射 电子的数目较多，相反，吸收电子的数量 就较少；反之亦然。因此，吸收电子也可 反映原子序数衬度，可进行定性微区成分 分析。 3. 作用：定性微区成分分析。; 四. 透射电子;特点：⑴ 只有样品的厚度小于入射电子的有效穿入深 度时，才会产生。 ⑵ 随样品厚度增加（质量厚度ρt），透射电子数目减小，吸收电子数量增加，当样品厚度超过有效穿透深度后，无透射电子。 3. 作用：配合电子能量分析器来进行微区成分分析。; 五. 特征X射线; 六. 俄歇电子;3. 作用：表面层成分分析。 除此之外，在固体中电子能量损失的 40%~80%最终转化为热量，还有一些其他信号产生。;扫描电镜（SEM） 构成;; 一. 电子光学系统（镜筒）;3. 扫描线圈;;;角光栅扫描（摇摆扫描）：如果电子束经上偏转线 圈转折后未经下偏转线圈改变方向，而直接由末级 透镜折射到入射点位置，这种扫描方式称为角光栅 扫描或摇摆扫描。入射束被上偏转线圈转折的角度 越大，则电子束在入射点上摆动的角度也越大。 应用：进行电子通道花样分析。;4. 样品室; 二. 信号的收集和图像显示系统; 三. 真空系统;;§12-3 扫描电子显微镜的主要性能;各种信号的成像分辨率（单位：nm）;1. 为什么各种信号分辨率不同？ 轻元素：;; 对于重元素样品，电子束射入后，作用体积为 半球状，电子束进入表面后立即横向扩展。因此， 即使电子束的束斑很小，也不能达到很高的分辨 率，且背散射和二次电子之间的分辨率明显减小。;2.影响分辨率的因素;3. SEM分辨率的测定：;二. 放大倍数——可达80万倍;三. 样品制备;§12-4 表面形貌衬度原理及其应用;一. 二次电子成像原理;;;;二. 二次电子形貌衬度的应用;金属材料的断口分类：;沿晶断口：断口呈冰糖状、块状，断口上无塑性变形迹象。;韧窝断口：断口为韧窝，有的韧窝中心有第二相颗粒，有明显塑变。;解理断口：断口呈河流状、台阶状，典型脆性断裂。;碳纤维增强陶瓷复合材料断口的二次电子像;㈡ 样品表面形貌观察;Al2O3+15%ZrO2复 合陶瓷烧结表面 Al2O3晶粒——有棱角大晶粒； ZrO2颗粒——白色 球状小颗粒。;金相表面观察 a.片状珠光体 b.回火组织α+碳化物;㈢ 材料变形与断裂动态过程的原位观察;; 2. 复合材料 Al3Ti/（Al-Ti）复 合材料断裂过程原位观 察： Al3Ti为增强相，裂 纹受Al3Ti颗粒时受阻而 转向，沿着颗粒与基体 的界面扩展，有时颗粒 也断裂。;§12-5 原子序数衬度原理及其应用;⑶二次电子能量低，可利用检测器收集栅上加一定正电压来吸引能量较低的二次电子，使它们以弧形路线进入闪烁体，使背向检测器的背位逸出的电子也能对成像有贡献，使图像层次增加，细节清楚。;;;2. 背散射电子原子序数衬度原理;⑵ 背散射电子原子序数衬度原理;背散射电子产额;⑶ 背散射电子原子序数衬度分析对样品的要求： 磨平抛光，但不侵蚀 ⑷ 对既要分析形貌又要分析成分的样品：  采用一对检测器检测同一点的背散射电子，将信号处理， 两个信号相加为成分像； 信号相减为形貌像。;;二. 吸收电子衬度原理及应用;;本 章 结 束