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浅谈电子厂房 FFU 布置率
图 1
图 1 洁净度分区图
如图中所示,各区域所对应的洁净等级详细分部见下表。
表 1
图中区域标识颜色
区域名称
洁净等级
吊装口、洁净楼梯
万级
普通机台区域
千级
LD/UL 区域
十级
STK/OHS 区域
十级
OHCV 区域
十级
确 定 各 区 域 的 洁 净 等 级 后 , 根 据 洁 净 厂 房 设 计 规 范
( GB50073-2001)的相关规定,气流流型的设计应符合下列:气流流型应满足空气洁净度等级的要求。空气洁净度等级要求为 1-5 级时, 应采用单向流。本项目吊顶层高均在 6m 以上,对于高度大于 4m 的净化间应采用平均风速来验证能否达到洁净等级。 气流流型和送风量
按照表 2 进行计算。
表 2
在本次设计中采用单向流,根据公式:
FFU 风速*FFU 面积=平均风速 * 区域面积
推出 FFU 布置率=FFU 面积/区域面积 =平均风速 /FFU 风速
根据 FFU 布置率的计算公式,首先计算出 FFU 原始布置率。然后根据各区域的具体要求进行深化设计。 因本项目首次采用无高架底板的孔,所以亦要结合孔板的开孔率进行气流模拟。
这里主要讨论千级区域,即普通机台大区域的 FFU 的布置率。此区域布置的主要是各个生产部门(即 Etch、TF、TEST)的机
台。因各部门的机台都自带有 FFU, Etch 部门自带 FFU 的机台占总
机台数量 70%,TF 部门占 50%,TEST 部门占 100%。机台自带 FFU 可以对室内空气进行再次过滤, 因此会影响洁净室内的 FFU 布置率, 使其布置率降低。
同时对比国内其他洁净厂房的运行状况。 根据洁净厂房设计规范
( GB50073-2001)的相关规定,单向流中达到要求净化等级的最小平均风速要≥ 0.2m/s。然而在洁净室的实际运行中,很少按照此标准执
行。例如,龙腾光电洁净室内, 其千级区域单向流, 在高度 h=1.5 处, 平均风速 0.05m/s,局部区域能达到 0.1m/s。洁净室运行结果是洁净 度达标,产品良率达标。结合国内其他洁净室的运行经验,平均风速
未必要≥ 0.2m/s。在洁净度和产品良率都达标的情况, 降低 FFU 布置率,能够达到节能环保的效果。
通过对整个厂房进行气流模拟, 最终确定各区域的 FFU 布置率。运用模拟软件对气流进行模拟, 同时调整孔板的开孔率, 使洁净室内的洁净度达标。 得到最终孔板开孔率布置方案如下图。 孔板最终布置原则:
1、回风道附近布置 35%孔板;
2、仅机台正下方布置盲板,机台以外区域不设置盲板(部分已由业主确定为 35%的区域以业主为准) ;
3、中间区域以 65%为主
图中区域标识颜色
区域名称
吊装口、洁净楼梯
洁净等级
万级
FFU 布置率
8%
普通机台区域
千级
12.5%
LD/UL 区域
十级
100%
STK/OHS 区域
十级
75%
OHCV 区域
十级
75%
同时得到各区域的 FFU 布置率如下表。通过以上可得知, 阵列厂的千级和十级区域 (主要是 STK 、OHS、OHCV 区域)的 FFU 布置率比按照规范要求设计出来的布置率要低很多。考虑了各方面的原因最终得出了以上布置率。 适当的降低
同时得到各区域的 FFU 布置率如下表。
利:( 1)因设备的投资在总投资中占有比较大的比重, 减少 FFU
的数量,降低了设备投资,从而减低了厂房的总投资。
(2)洁净室的能量消耗主要来自供冷负荷和运行负荷。 其中运行负荷主要是系统中 FFU 风机运行所消耗的能量, 其所占的比重较大。对于千级以上的单向流洁净室,风机运行负荷达到供冷负荷的 2~4 倍。减少 FFU 的数量,能够较好地降低 FFU 风机的运行负荷,减少能量消耗,降低洁净室用户的生产成本。
弊:因减少了 FFU 的数量,为了满足室内的送风量,达到洁净 室的设计要求, FFU 基本都处于满负荷运行状态,从而会降低 FFU 的使用寿命,最终会使得 FFU 的维护和更换成本增加。
因此,最终 FFU 的布置率结合利弊两方面后,做出最优化的选
择。
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