薄膜物理与技术：CH1-introductions.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * PDP(plasma display panel)——等离子体平板显示器 LCD(liquid crystal display)——液晶显示器 21世纪进入了以PDP，LCD为代表的平板显示器时代。 以PDP为例，制作的关键是在对角线1m以上大尺寸玻璃板表面形 成数以百万计的放电胞。放电胞的节距一般为200～400微米，胞间障 壁宽度为50微米，高150微米。汇流电极由透明导电膜做成，选址电 极由Ag膜等做成。为保证电极寿命，需要在前玻璃基板表面涂覆MgO 保护膜。 要制作这些电极及各种膜层，离不开薄膜技术及微细加工技术。 PDP and Films PDP的断面结构 发展迅猛的TFT（thin film transistor）－LCD 薄膜三极管与显示象素 图中的一个象素大小约几十微米，薄膜三极管的特征尺寸一般为3～5微米。制作薄膜三极管需要在玻璃基板上形成非晶硅或多晶硅半导 体膜，还要形成原极，栅极，漏极，每个像素都要有共用电极和显示电 极。此外，还要产生RGB三原色的滤色膜。 这些都离不开薄膜技术和微细加工技术。 Substrate Emitted light Device structure of PLED or OLED Metallic Electrode Thin organic or polymer Film of LED Transparent Electrode Organic light-emitting diodes 13 inch (Trying for 30inch WXGA 1365X768 pixels), life time 1000h ,and put into production in 2006-2008 Polymer light emitting diodes (PLED) 高精细喷墨打印机-3D打印技术 MEMS＆NEMS与薄膜微加工技术 MEMS（micro electro-mechanical system,微电子机械系统） NEMS（nano electro-mechanical system,纳电子机械系统） 薄膜技术与微加工技术为二者创造了良好条件。 加速度传感器 加速度传感器 用于汽车防撞系统的气囊，及时充气膨胀就是靠检测汽车的加速度，并由 此触发信号。 机器人行走，也要靠行走中因倾斜产生的力（加速度）来控制步行姿势。 为了测量加速度，离不开由薄膜技术及超微细加工技术制作的传感器。 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 5. The application of thin films 薄膜材料的分类和应用 电学——超导、导电、半导体、电阻、绝缘、电介质 功能薄膜 光学——增透、反射、减反、光存储、红外 磁学——磁记录和磁头薄膜 热学——导热、隔热、耐热 声学——声表面波滤波器，如ZnO、Ta 机械——硬质、润滑、耐蚀、应变 化学、 生物 集成电路： P-N结、绝缘层、导线，并由此构成二极管、三极管、电阻、电容等电子元件 是薄膜技术的最主要推动力 莫尔定律：每1.5年，更新1代：线宽缩小为上一代的0.7倍 采用真空蒸发等方式形成一层Al或Cu等导电性好的金属层，用于集成电路板上的导电连线。 Fabrication of Thin Film Sensors 磁性薄膜 Coil for writing 磁性存储薄膜材料：主要是指厚度在1微米以下的强磁性（铁磁性和亚铁磁性）材料，用作薄膜磁性存储介质和薄膜磁头。如Fe-Ni，Fe-Si-Al，Co-Zr-Nb。 硬盘内部结构 硬盘磁头结构 Cross-section of a thin-film media for GMR head Top magnetic layer ~ 100 ? Carbon overcoat ~ 70 ? Lubricant ~ 20 ? Spacer layer ~ 0 - 20 ? Substrate Seed layer ~ 100 ? Under layer ~ 100 ? Bottom magnetic layer ~ 100 ? Intermediate layer ~ 50 ? YBCO/CeO2/YSZ/CeO2/Ni YBCO超导样品 YBC