电子行业废水研究汇总.docxVIP

注：电子行业包含很多行业，半导体行业、电子元件行业（其中包括电容器、电阻器、电 感器、电位器、电路板、电子变压器、磁性材料和电子敏感元件等）、平板显示器行业（其 中包括皿皿和加半导体行业废水研究 一、废水来源 在制备晶圆时，需要使用超纯水冲洗，无机药剂需要用到盐酸、氨水、硫酸和氢氟酸，有机 药剂需要用到光阻剂：乙酸丙二醇单甲基醚酯PGMEA（C6H1203）和乳酸乙酯EL（C5H1003）； 显影剂：氢氧化四甲基铵TMAH（C4H13NO）；去光阻剂：一甲基-2-比喀NMP（C5H9NO）； 光阻制程用药：酚（C6H60）；晶片干燥过程用药：异丙醇IPA（C3H8O）。在使用药剂的过 程中就会