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- 2022-06-21 发布于广东
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制造与封装对器件电性的影响
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1、反向击穿电压BVCBO、BVCEO和BVEBO 外延片制作的双极晶体管的反向击穿电压VB(一般指BVCEO或BVCBO)既与外延层电阻率ρc有关,结的曲率半径和也与表面状况等因素有关。当高阻集电区厚度Wc小于BVCBO所对应的势垒宽度xmB时,VB还与WC有关。所以提高晶体管反向耐压可采取提高ρc、WC,减小二氧化硅中表面电荷密度,采用圆角基区图形,深结扩散、甚至采用台面结构、扩展电极或加电场限制环等措施。BVCBO是共基晶体管在发射极开路时输出端C—B间的反向击穿电压。BVCEO是共射晶体管在基极开路时输出端C—E间的反向击穿电压。实际测试中的规定为:BVCBO——发射极开路,集电极电流为规定值时,C—B间的反向电压值。BVCEO——基极开路, 集电极电流为规定值时,C—E间的反向电压BVEBO——集电极开路,发射极电流为规定值时,E—B间的反向电压值。
三极管击穿电压和饱和压降
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2、饱和压降VCES和正向压降VBES
VCES和VBES是功率管的重要参数,对开关管尤其重要。VCES是共射晶体管饱和态时C—E间的压降。VBES是共射晶体管饱和态时B—E间的压降。一般硅管的VBES =0.7~0.8V,锗管的VBES =0.3~0.4V。VCES的大小与衬底材料和测试条件有一定的关系。VBES与芯片表面的铝硅接触情况有关,铝硅合金不好,或光刻引线孔时残留有薄氧化层都会导致VBES过大。
反向电流ICBO、ICEO和IEBO
晶体管的反向电流ICBO、ICEO和IEBO也叫反向截止电流或反向漏电流。其中ICEO又叫反向穿透电流。反向电流对晶体管的放大作用没有贡献,白白消耗一部分电源功率,影响晶体管工作的稳定性。因此,反向电流愈小愈好。
ICBO——发射极开路,C—B间反压为规定值时的反向电流;
ICEO——基极开路, C—E间反压为规定值时的反向电流;
IEBO——集电极开路, E—B间反压为规定值时的反向电流。
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3.晶体管特性常见现象及其原因
其主要原因:
(1)β线性不好 β线性不好有以下几方面:
① 小注入时β过小,图1。此时的特点是小注入时特性曲线密集。它的产生原因是基区表面复合严重、发射结势垒复合较强、发射结表面漏电大。
② 大注入时β过小,图2。此时的特点是大注入时特性曲线密集。它的产生原因是基区电导调制效应和有效基区扩展效应。
(2)特性曲线分散倾斜图3 此时的特点是零线较平坦,其它曲线分散倾斜。产生原因是基区掺杂浓度过低,宽度过窄,导致基区宽(调)变效应严重。
(3)反向漏电流大 反向漏电流大有两方面:
① 沟道漏电如图4。沟通漏电的特点是起始电流大,零注入曲线升高。它产生的原因是二氧化硅中正电荷密度过大,导致晶体管P区表面反型,出现n型沟道。
② 反向漏电大图5。反向漏电大的特点是特性曲线全部倾斜。产生的原因是表面吸附有大量杂质离子、原材料缺陷多、势垒区附近有大量杂质沉积和大量重金属杂质沾污。
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(4)击穿特性差 击穿特性差有如下表现。
① 管道型击穿图6。管道型击穿的特点是击穿曲线像折线或近似折线。它产生的原因是形成的基区光刻小岛,有p—n结尖峰、材料中有位错集中点或表面有破坏点等形成的基区局部穿通,硼扩前表面有n型杂质和灰尘沾污形成的基区反型杂质管道等。
② 硬低击穿图7。硬低击穿的特点是击空特性硬,击穿电压低。产生的原因与管道型击穿类似。如集电结有缺陷集中点或局部损伤以至断裂;基区大面积穿通或存在大的反型杂质管道。
③ 软击穿图 8。软击穿的特点是反向漏电大,没有明显的击穿点。产生原因与反向漏电大相同。
(5)饱和压降大图9(a)、(b)饱和压降大分两图说明。
图9(a)特点:曲线上升部分不陡或浅饱和区宽。原因:ρc、Wc过大,导致rcs过大或在低压下集电结势垒区载流子达不到极限散射速度;基区掺杂浓度很低时也会导致VCES增大。
图9(b)特点:低电压下曲线上升很缓慢,其它部分较正常,俗称“有小尾巴”。原因:烧结条件掌握不好,管芯与管座接触电阻rcbn过大。
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图1 小注入时特性曲线密集
图2 大注入时β过小
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图3 基区宽(调)变效应
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图4 沟道漏电
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