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真空电阻炉加热元件的分析与应用进展 本文综述电阻式加热真空热处理炉中常用的金属和非金属加热元件所用的材料特性，以及各种材料的优缺点、适用场合、常用加热元件的构造形式等。分析了金属及非金属加热元件损耗、损坏的主要原因，给出延长加热元件的使用寿命、减小加热元件损耗的措施。最后为真空电阻式热处理炉用加热元件设计提出若干参考建议。  真空热处理技术的崛起和迅猛发展，一方面源于工业技术发展的需要，另一方面是由于真空热处理具有其他热处理不可比较的一系列突出优点：防止被处理的工件表面氧化、脱碳并有复原除锈作用，省去表面磨削加工工序，从而节约原材料的消耗，节省加工时间；真空脱气作用，使材料表面纯度提高，提高材料的疲劳强度、塑性和韧性，提高耐腐蚀性；脱脂作用，除去残留油脂，提高产品质量；处理工件无氢脆危险，防止钛和难熔金属表面脆化；淬火变形小；与可控气氛炉相比，不需优质可燃气体气源，蓄热损失小，热效率高，节省能源，可实现快速升温和快速降温；真空热处理工艺的稳定性和重复性好；操作安全，自动化程度高，工作环境好，无污染无公害。真空技术网(http:///)认为缺点和缺陷在于：某些合金和元素在真空中蒸发较大，需充入惰性气体加热保护。 1、真空热处理炉加热元件材料  由于真空热处理炉内处于真空状态，因此，加热元件以热辐射形式向工件传递热量，此外，加热元件的挥发速度高于普通电炉。在设计真空热处理炉中加热元件的材料时需要考虑：选用电阻率较高的材料；较小的电阻温度系数；足够的高温机械强度；较小的热膨胀系数；不与炉内保护气氛及炉衬等发生化学反应；耐热性；易加工性等。此外，还需根据真空热处理炉的温度、构造、工艺要求、经济性等具体因素综合考量后选择加热元件材料。  真空热处理炉中的加热元件根据材料不同可分为金属和非金属两种。金属加热元件所用材料有：镍铬合金、铁铬铝合金、铂、钼、钨、钽等；非金属加热元件有：碳化硅、二氧化钼、石墨等。真空电阻炉内常用电热材料类型及特性如下表1 所示。  表1 真空电阻炉内常用电热材料类型及特性  1.1、金属材料加热元件  镍铬、镍铬铁合金具有较高而稳定的电阻率，耐腐蚀及表面抗氧化性能好，在高温下有较好的强度，抗振动、变形性能好，有良好的加工性能和可焊性，广泛用于工业电炉，冶金、家用电器，机械制造，发热元件和电阻变阻器等材料。铁铬铝合金是一种高电阻合金材料，具有电阻率高、电阻温度系数小、耐高温寿命长、重量轻、价格便宜、表面热负荷较镍铬合金高等优点，在大气条件下比镍铬合金使用寿命长，尤其适合在含有硫和硫化合物气氛中使用，是工业电炉，家用电器、红外线加热装置中理想的发热材料。以上两种合金在空气中的最高使用温度在1100~1300℃，考虑到金属蒸发影响，在真空中的最高使用温度应略有降低。  为了延长铁铬铝合金在真空中的使用寿命，可先将由铁铬铝合金制成的加热元件在空气中加热到1000~1050℃，保持7~8 h，使其表面产生一层氧化膜。对用镍铬合金制成的加热器虽然没有保护的氧化薄膜，但在真空中仍然可以使用到1130~1170℃，而且具有良好的耐热性与耐腐蚀性。  以上两类合金材料一般适用于真空热处理炉额定温度低于1000℃的情况下。对于额定温度高于1000℃甚至更高的真空热处理炉，加热元件则应选取难熔金属或非金属材料。难熔金属材料包括钨、钼、钽、铌、铂等，其中前三种材料较为常见。  额定温度在1000℃ ~1600℃( 少数可达1700℃)的真空炉，加热元件材料可选择钼丝或钼片作为发热体；温度低于2200℃情况下，可选用难熔金属钽作为加热元件材料，钽的加工性能优于钼，可以焊接，加工时边角料可以回收，但是不可在氢气气氛下使用，但是钽金属很昂贵，一般只在特殊情况下用作加热元件材料；钨是使用温度最高的难熔金属，最高温度可达2 400～2500 ℃，但由于钨片耐冲击力差，质地很脆，加工时易产生裂纹，因而成品率很低。  1.2、非金属材料加热元件  碳化硅材料的使用温度高，能够在空气中使用， 材料价格低， 在空气中的使用温度可达1400℃，但在真空中元件间的电阻一致性差，易老化，新老元件不易匹配，需配调压器，并且，材料质脆，易断裂，且存在连接麻烦等问题，所以真空炉中很少使用。  二硅化钼材料的使用温度高，能够在空气中使用，在空气中最高使用温度可达1700℃，并且价格低廉，使用时需要配变压器，但考虑到材料在室温下脆，在1300℃变软，并且随着真空度的提高，元件的最高使用温度会随之下降，故在真空炉中也很少采用。  石墨是最常见的真空热处理炉的非金属加热元件材料，具有耐高温、热膨胀小、抗热冲击、高温机械强度好、加工性能好、价格低廉、线膨胀系数