透射电镜的构造与工作原理.pptVIP

电磁透镜 数值孔径常数近似等于孔径角，由（3-50）可得到由衍射效应确定的电磁透镜的分辨本领： （3-55） 提高电镜工作电压，降低电子波长，增大电磁透镜孔径角，将提高电磁透镜的分辨本领。 考虑透镜像差与孔径半角?0的关系 增大孔径角可以减小Airy斑尺寸，提高电磁透镜的分辨本领，但同时增大像差散焦斑尺寸，这将降低电磁透镜的分辨本领。需要综合考虑衍射效应和像差。 最佳孔径半角?0：在Airy斑半径与球差散焦斑半径相等，即R0=rS的条件下导出，由式（3-50）和（3-51）得到： （3-56） 整理得到最佳孔径半角： （3-57） 最佳孔径半角?0随电子波长增加和球差系数降低而增大，将（3-57）代入（3-55）得到在最佳孔径角条件下的电磁透镜的分辨本领：