位移与速度测量传感器.ppt

* 第87页，共130页，2022年，5月20日，21点10分，星期四 * 4.5 光栅传感器 4.5.1光栅结构与种类 光栅是在透明的玻璃上刻有大量相互平行、等宽而又等间距的刻线。没有刻线的地方透光（或反光），刻线的地方不透光（或不反光）。图4-43所示的是一块黑白型长光栅，平行等距的刻线称为栅线。设其中透光的缝隙宽度为a，不透光的缝隙宽度为b，一般情况下，a＝b。图中w＝a+b称为光栅栅距(或光栅节距、光栅常数)，它是光栅的一个重要参数。对于圆光栅来说，除了参数栅距之外，还经常使用栅距角。栅距角是指圆光栅上相邻两刻线所夹的角。 图4-43 光栅结构 第88页，共130页，2022年，5月20日，21点10分，星期四 * 4.5.1光栅结构与种类 光栅按其用途分长光栅和圆光栅两类。 刻画在玻璃尺上的光栅称为长光栅，也称光栅尺，用于测量长度或几何位移。根据光线的走向，长光栅还分为透射光栅和反射光栅。 透射光栅是将光栅线刻制在透明材料上，通常选用光学玻璃和制版玻璃。反射光栅的栅线刻制在具有强反射能力的金属上，如不锈钢或玻璃镀金属膜（如铝膜），光栅也可刻制在钢带上再粘结在尺基上。 刻画在玻璃盘上的光栅称为圆光栅，也称光栅盘，用来测量角度或角位移。根据栅线刻画的方向，圆光栅分两种，一种是径向光栅，其栅线的延长线全部通过光栅盘的圆心；另一种是切向光栅，其全部栅线与一个和光栅盘同心的小圆相切。圆光栅只有透射光栅。 第89页，共130页，2022年，5月20日，21点10分，星期四 * 4.5.2 光栅传感器工作原理 1. 光栅传感器组成 光栅传感器通常由光源、聚光镜、计量光栅、光电器件及测量电路等部分组成。计量光栅由标尺光栅（主光栅）和指示光栅组成，它决定了整个系统的测量精度。 一般主光栅和指示光栅的刻线密度相同，但主光栅要比指示光栅长得多，它们的刻线面相对，中间留有很小的间隙。测量时光源为传感器提供能量（光能），聚光镜将光源发出的可见光收集起来，并将其转换成为平行光束送到计量光栅。主光栅与被测对象连在一起，并随其运动，指示光栅固定不动。 图4-44 光栅传感器测量原理 第90页，共130页，2022年，5月20日，21点10分，星期四 * 4.5.2 光栅传感器工作原理 2. 莫尔条纹 由于主光栅和指示光栅的作用，形成了莫尔条纹。如图4-45所示，在a–a＇线上两光栅的栅线彼此错开，光线无法通过，形成暗带；在b–b＇线上两光栅互相重合，互相挡住缝隙，光线从缝隙中通过，形成亮带。这种明暗相间得条纹就成为莫尔条纹，它的方向与刻线方向垂直。 图4-45 莫尔条纹形成 第91页，共130页，2022年，5月20日，21点10分，星期四 * 4.5.2 光栅传感器工作原理 莫尔条纹有以下特性： （1）位移放大作用 当光栅移动一个光栅栅距W时，莫尔条纹也移动一个条纹宽度B。由于主光栅和指示光栅的栅线之间的夹角θ很小，且两光栅的光栅栅距相等，因此，它们之间近似关系为 可见其位移放大倍数为 （2）运动对应关系 莫尔条纹的位移量和移动方向与主光栅相对于指示光栅的位移量和位移方向有严格的对应关系。 （3）误差平均效应 由于莫尔条纹是由大量栅线共同作用形成的，对于光栅刻线误差起到了平均的作用。 第92页，共130页，2022年，5月20日，21点10分，星期四 * 4.3.3 电容式传感器的应用 第55页，共130页，2022年，5月20日，21点10分，星期四 * 4.3.3 电容传感器应用 1.电容式位移传感器 图4-28 电容式移传感器应用 第56页，共130页，2022年，5月20日，21点10分，星期四 * 4.3.3 电容传感器应用 2.电容加速度传感器 图4-29 电容式加速度传感器结构 第57页，共130页，2022年，5月20日，21点10分，星期四 * 4.3.3 电容传感器应用 3.电容式物位传感器 图4-30 电容式物位传感器原理 第58页，共130页，2022年，5月20日，21点10分，星期四 * 当两圆筒间充以介电常数为ε1的气体时，则由该圆筒组成的电容器的电容量为 （4-16） 如果两圆筒形电极间的一部分被介电常数为ε2的液体所浸没，设被浸没得电极长度为H，此时的电容量为 图4-30 电容式物位传感器原理 （4-17） 经整理可得