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第三节扫描电子显微分析Scanning Electron Microscopy;工作原理;扫描电镜的组成;JSM-5500 扫描电镜; 最广泛使用的电子显微镜，普及程度远高于透射电子显微镜。 技术迅速发展： 高亮度的场发射电子枪（FEG） 环境扫描电镜（ESEM） 集合各种附加功能（能谱、波谱、衍射） 图象处理 除用于科学研究外，还可用于生产过程控制。;扫描电镜的特点;扫描电镜的主要指标;第三节电子显微分析ScanningElectronMicroscopy;扫描电镜的场深;扫描电镜的图象及其衬度;2 二次电子象： 二次电子能量低，小于50eV 二次电子发射系数与入射束的能量有关，能量较高时，发射系数减小。 二次电子发射系数和试样表面倾角有关，随倾角增加而增加；但发射方向与倾角无关。;高亮度的地方即为凸起的地方。;二次电子探测器;二次电子象主要反映试样表面的形貌特征。 二次电子象的衬度是形貌衬度，衬度形成主要取决于试验表面相对于入射电子束的倾角。 二次电子象分辨率高，无明显的阴影效应，场深大，立体感强，是扫描电镜的主要成象方式。特别适宜于粗糙表面和断口分析。;3 背散射电子象 背散射电子能量高，在试样中产生的范围大，分辨率低。 背散射电子的发