第六章、电子束和离子束加工.ppt

* * 第六章 电子束和离子束加工 可用于加工空气轴承的沟槽、打孔、加工极薄材料及超高精度非球面透镜，还可用于刻蚀集成电路等的高精度图形。 第二十七页，共三十七页。 * 第六章 电子束和离子束加工 （2）离子溅射沉积 采用能量为0.1～5keV的氩离子轰击某种材料制成的靶材，将靶材原子击出并令其沉积到工件表面上并形成一层薄膜。实际上此法为一种镀膜工艺 。 第二十八页，共三十七页。 * 第六章 电子束和离子束加工 （3）离子镀膜 离子镀膜一方面是把靶材射出的原子向工件表面沉积，另一方面还有高速中性粒子打击工件表面以增强镀层与基材之间的结合力（可达10～20MPa）。 该方法适应性强、膜层均匀致密、韧性好、沉积速度快，目前已获得广泛应用。 第二十九页，共三十七页。 * 第六章 电子束和离子束加工 （4）离子注入 用5～500keV能量的离子束，直接轰击工件表面，由于离子能量相当大，可使离子钻进被加工工件材料表面层，改变其表面层的化学成分，从而改变工件表面层的机械物理性能。 该方法不受温度及注入何种元素及粒量限制，可根据不同需求注入不同离子（如磷、氮、碳等）。 注入表面元素的均匀性好，纯度高，其注入的粒量及深度可控制，但设备费用大、成本高、生产率较低。 第三十页，共三十七页。 * 3、特点 第六章 电子束和离子束加工 加工精度高。离子束加工是目前最精密、最微细的加工工艺。离子刻蚀可达纳米级精度，离子镀膜可控制在亚微米级精度，离子注入的深度和浓度亦可精确地控制。 环境污染少。离子束加工在真空中进行，特别适宜于对易氧化的金属、合金和半导体材料进行加工。 加工质量高。离子束加工是靠离子轰击材料表面的原子来实现的，加工应力和变形极小，适宜于对各种材料和低刚件零件进行加工。 第三十一页，共三十七页。 * 第六章 电子束和离子束加工 4、应用 目前，离子束加工主要应用于刻蚀加工、镀膜加工、注入加工。 离子刻蚀：制造激光器和红外传感器的高性能非球面透镜和反光镜、光学系统中的衍射光栅、压电传感器用晶片、陀螺转子轴承表面上的复杂结构、微型加速计的精确质量块以及超精密加工用的单晶金刚石刀具。 第三十二页，共三十七页。 LKJ系列离子束刻蚀系统 第三十三页，共三十七页。 * 第六章 电子束和离子束加工 离子注入 （1）改变金属材料表面的力学性能，如提高硬度、耐磨性和抗疲劳性能； （2）改变金属材料的物理性能，如电性能、超导性能、光学性能及绝缘性能； （3）改变金属表面的抗腐蚀性能，如抗化学腐蚀和抗高温氧化性能等。 第三十四页，共三十七页。 * 第六章 电子束和离子束加工 离子镀和离子溅射镀膜 （1）精密滚珠轴承采用离子镀膜后，使用寿命延长到数千小时； （2）刀具镀以几微米厚的TiN、TiC涂层后，寿命提高3~10倍； （3）在钛合金叶片上沉积一层贵金属（Pt、Au、Rh等）涂层，可使疲劳强度增加30%，抗氧化与耐腐蚀能力也大大提高。 第三十五页，共三十七页。 双离子束溅射沉积系统 第三十六页，共三十七页。 内容总结 第六章 电子束和离子束加工。电子发射阴极—用钨或钽制成，在加热状态下发射电子。聚焦方法：一是利用高压静电场是电子流聚焦成细束。电子束能够极其微细地聚焦(可达l～0.1 μm)，故可进行微细加工。加工孔的最小直径可达0.003mm，最大深径比可达10。将光刻与粒子束刻蚀或蒸镀工艺结合，就可以在金属掩模或材料表面指出图形来。电子束熔炼法发明于1907年﹐但直到50年代才用于熔炼难熔金属﹐后来又用于熔炼活泼金属(如Ti锭)和高级合金钢。电子束加工是靠电能转化为热能进行加工的。离子束加工是靠电能转化为动能进行加工的。这种加工本质上属于一种原子尺度的切削加工，通常又称为离子铣削。离子束加工是目前最精密、最微细的加工工艺 第三十七页，共三十七页。 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 《精密与特种加工》 Precision and non-traditional machining 第一页，共三十七页。 * 主要内容 6.1 电子束加工 6.2 离子束加工 第六章 电子束和离子束加工 第二页，共三十七页。 * 第六章 电子束和离子束加工 1、概述 电子束加工（Electron Beam Machining 简称EBM）起源于德国。1948年德国科学家斯特格瓦发明了第一台电子束加工设备。 利用高能量密度的电子束对材料进行工艺处理的一切方法统称为电子束加工。 6.1 电子束加工 第三页，共三十七页。 * 第六章 电子束和离子束加工 电子束加