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2层减反膜设计（非规整） [Air/1.32L(SiO2)0.26H(TiO2)/Glass]550nm 2层减反膜设计（非规整） [Air/1.32L(SiO2)0.26H(TiO2)/Glass]550nm 2层减反膜导纳图（非规整） [Air/1.32L(SiO2)0.26H(TiO2)/Glass]550nm 2层减反膜反射率曲线图（非规整） [Air/1.32L(SiO2)0.26H(TiO2)/Glass]550nm 宽带减反膜 400—700nm 波长范围内减反射 初始膜系为[Air/L(SiO2)2H(TiO2）0.32L(SiO2)0.26H(TiO2)/Glass]550nm 宽带减反膜 宽带减反膜 导纳图 优化与综合 优化方式有： 目标设定 单纯形法 最佳寻优法 模拟退火法 共轭剃度法 牛顿叠代法 针法 目标参数 目标参数设定 选用单纯形法优化厚度 优化前后的反射率曲线对比 黑色：优化前的反射率曲线 红色：优化后的反射率曲线 长波通滤光片 简单的要求： 50%透过率点的波长是600nm 大于850nm具有高的透过率和低的波纹 没有短波边带 材料用TiO2和SiO2 长波通滤光片 1. 打开新的设计文档 2. 在编辑栏中选用公式编辑来创建长波通的结构（0.5HL0.5H）?16 X轴参数 X轴的参数： 波长 波束 入射角 光学厚度 几何厚度 物理厚度 Y轴参数 Y轴参数： 反射率、透射率反射位相、透射位相、颜色、(超速的(ultrafast),椭圆偏振量( ellipsometric)，以及波长的0-3阶导数等。 参数图 导纳分析工具 导纳图 例子 高反膜 减反膜 截止滤光片（长波通） Air/(HL)^s H/Glass Air/(HL)^s H/Glass H：TiO2，L：SiO2，λ0 ： 1000nm，S=1 设计（S=1） 波长改为1000nm 保存设计 编辑参数 X轴参数： 波长 Y轴参数： 反射率 反射曲线（S=1） 导纳参数 导纳图表 Air/(HL)^s H/Glass Air/(HL)^s H/Glass H：TiO2，L：SiO2，λ0 ： 1000nm，S=3 设计（S=3） 在同一图上显示（S=1，3） 显示反射曲线图后，点击曲线图标题栏上的文件（File），点击添加线条（add line），选取要显示的曲线文件后点击打开，线条就在同一图上显示 在同一图上显示（S=1，3，7） 黑色：s=1 红色：s=3 兰色：s=7 导纳图（S=7） 反射位相（S=7） 反射系数（S=7） 电场（S=7） 活动图表（S=7，波长改变） 活动图表（S=7，波长和角度改变） 点击、、《、》可以改变参数 改变入射角（S=7，45度入射） 倾斜入射角 注意： 偏振和入射角 偏振图（S=7） 兰色：S偏振 绿色：平均 红色：P偏振 1层减反膜设计 [Air/L(SiO2)/Glass]550nm 1层减反膜导纳图 1层减反膜反射率曲线 虚线是玻璃的反射率 实线是单层减反膜反射率曲线 2层减反膜设计 [Air/L(SiO2)M(Y2O3)/Glass]550nm 2层减反膜导纳图 2层减反膜反射曲线图 兰色：玻璃的反射率曲线 红色：1层减反膜的反射率曲线 黑色： 2层减反膜的反射率曲线 Essential Macleod光学薄膜设计与分析软件 利方达有限公司 系统需要 完全与Microsoft? Windows? 操作系统兼容， Pentium 处理器 建议硬盘空间： 20-25Mb 内存：128Mb 软件介绍 Essential Macleod 核心麦克劳德是一套完备的光学薄膜分析与设计的软件包，它能在微软视窗操作系统下运行， 并且具有真正的多文档操作界面。它能满足光学镀膜设计中的各种要求。既可以从头开始设计，也可以优化已有的设计；可以观测在设计生产中的误差，也可以导出薄膜的光学常数，是当今市场上最完善的薄膜设计及分析软件。 软件特点 使用简便： 常见的用户界面；广泛的使用剪贴板；高质量曲线；真正的多文档界面； 用户自定义单位：任意定义波长、频率、厚度、时间的单位； 逆向工程：n、k值导出；非均匀性和吸收，堆砌密度的变化；固定缩放比例；灵活的限制性优化。 优化及合成：Optimac法；Simplex法；模拟退火法； 目标：对包括颜色的所有的参数确定目标清单；从外部源输入目标数据；链接； 分析和设计工具：导纳图表；反射系数图表；绝对电场幅度图；非极化边缘滤波片设计工具；对