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三. 景深 第23页，共42页，2022年，5月20日，1点25分，星期五 第六节 SEM的样品制备 SEM对样品的最重要的要求是样品要导电. 一. 导电材料试样制备 二. 非金属材料试样制备 三. 生物医学材料试样制备 第24页，共42页，2022年，5月20日，1点25分，星期五 一. 导电材料试样制备 1. 试样尺寸尽可能小些，以减轻仪器污染和保持良好真空。 2. 切取试样时，要避免因受热引起试样塑性变形，或在观察面生成氧化层；要防止机械损伤或引进水、油污及尘埃等污物。 第25页，共42页，2022年，5月20日，1点25分，星期五 观察表面，特别是各种断口间 隙处存在污物时，要用无水乙 醇、丙酮或超声波清洗法清理 干净。 4. 故障构件断口或电器触点处存 在的氧化层及腐蚀产物，不要 轻易清除。 第26页，共42页，2022年，5月20日，1点25分，星期五 二. 非金属材料试样制备 1. 在试样表面上蒸涂或沉积一层导电膜。碳、金、银、铬、铂和金钯合金等均可做导电膜材料。 2. 导电膜应均匀、连续，厚度为200~300?。 第27页，共42页，2022年，5月20日，1点25分，星期五 三. 生物医学材料试样制备 清洗、固定 脱水、干燥 导电处理等 第28页，共42页，2022年，5月20日，1点25分，星期五 第七节 SEM的应用 一. 在金属材料方面的应用 二. 在高分子材料方面的应用 三. 在石油、地质、矿物方面的应用 四. 在半导体器件及集成电路方面的应用 五. 在生物医学上的应用 第29页，共42页，2022年，5月20日，1点25分，星期五 一. 在金属材料方面的应用 断口分析：解理断口、准解理断口、韧性断裂、沿晶断裂等. 铸铁研究：铸铁中的石墨形态、铸铁中化学成分的微区分析. 事故、故障分析 第30页，共42页，2022年，5月20日，1点25分，星期五 第1页，共42页，2022年，5月20日，1点25分，星期五 材料的现代分析测试方法第一章 扫描电子显微镜(SEM)第一节 概述 第2页，共42页，2022年，5月20日，1点25分，星期五 第二节　电子束与固体样品　　　　相互作用 第3页，共42页，2022年，5月20日，1点25分，星期五 一．背散射电子 二．二次电子 三．吸收电子 四．透射电子 第4页，共42页，2022年，5月20日，1点25分，星期五 五．特征Ｘ射线 六．俄歇电子 七．阴极荧光 八．电子束感生电效应 　１．电子束感生电导信号 　２．电子束感生电压信号 第5页，共42页，2022年，5月20日，1点25分，星期五 第6页，共42页，2022年，5月20日，1点25分，星期五 第三节 SEM工作原理 第7页，共42页，2022年，5月20日，1点25分，星期五 第四节 SEM的构造 第8页，共42页，2022年，5月20日，1点25分，星期五 一. 电子光学系统 组成: 电子枪, 电磁聚光镜, 光阑, 样品室等. 作用: 用来获得扫描电子束, 作为 使样品产生各种物理信号的 激发源. 第9页，共42页，2022年，5月20日，1点25分，星期五 1. 电子枪 2. 聚光镜(电磁透镜) 3. 光阑 4. 样品室 第10页，共42页，2022年，5月20日，1点25分，星期五 用于SEM的电子枪有两种类型 热电子发射型: 普通热阴极三极电子枪 六硼化镧阴极电子枪 场发射电子枪: 冷场发射型电子枪 热场发射型电子枪 第11页，共42页，2022年，5月20日，1点25分，星期五 几种类型电子枪性能 第12页，共42页，2022年，5月20日，1点25分，星期五 二. 扫描系统 组成: 扫描信号发生器、放大控制器等 电子学线路和相应的扫描线圈。 作用: 提供入射电子束在样品表面上以 及阴极射线管电子束在荧光屏上 的同步扫描信号; 改变入射电子 束在样品表面扫描振幅，以获得 所需放大倍数的扫描像。 第13页，共42页，2022年，5月20日，1点25分，星期五 三. 信号检测放大系统 作用：检测样品在入射电子束作 用下产生的物理信号，然 后经视频放大，作为显象 系统的调制信号。 第14页，共