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三角形掩膜与条形掩膜的关系 [310] ? ? d ? h1 h2 a b [130] ? [010] b/2 d’ d = 1.2 +3.12H (?m) (2-3) a = 3.78+9.83H-1.5b（?m） (2-9) 2、电化学腐蚀 电位（V） 0.0 -0.5 -1.0 -1.5 四电极电化学腐蚀系统示意图 （图中N－Si区域连通） 采用四电极电化学腐蚀技术加工的硅梁 3、高温硅直接键合工艺 步骤1、预处理：将两抛光硅片先经含OH — 的溶液浸泡处理，然后烘干 ； 步骤2、预键合：在常温下将两硅片对准贴合在一起； 步骤3、热处理：加热至500、800、1000°C，形成高温键合。 800?C退火处理后水汽产生的气孔 键合完成后的红外图象 玻璃 硅片 加热板 - Vs + 静电键合装置 4、静电键合工艺 1、硅片清洗、烘干； 2、射频溅射PbO玻璃薄膜，真空度10-6Torr，通氩气和氧气，玻璃膜厚度1?m； 3、将镀有玻璃膜的硅片与另一块本体硅片对准后压紧，分别接电源负极和正极。在常温下加50V直流电压，时间10min。 硅/玻璃膜界面的SEM图象 常温键合硅片剥开后的玻璃膜粘附现象 硅表面微加工 LIGA技术——同步辐射X光光刻 (Lithographie)+微电铸 (Galvanoformung)+微复制 (Abformung) 3.2.3 MEMS触觉传感器 类皮肤型触觉传感器必须具备的功能和特性： 1、触觉敏感能力，包括接触觉、分布压觉、力觉和滑觉； 2、柔性接触表面，以避免硬性碰撞和适应不同形状的表面； 3、小巧的片状外型，以利于安装在机器人手爪上。 压阻元件与 应变检测电路 模拟开关 热敏电阻 放大补偿电路 A/D 计算机主板 D/A 数据处理电路 机器人控制器 分布接触力 解码器 触觉敏感阵列 触觉传感器系统框图 地址控制器 未粘贴橡胶层的触觉敏感阵列 橡胶层 传力柱 基板 保护阵列 金丝 外引线 敏感单元 中央凸台 敏感阵列结构图 触觉敏感阵列 制作工艺 敏感芯片的制作 基本与微型三维力传感器芯片相同，但是应在采用离子注入掺杂工艺制作敏感电阻的同时，增加制作信号选通集成电路和Al连线的相关工艺。 传力阵列的制作 传力柱A 传力柱B 边框A 边框B 边框B 边框A 悬臂梁A 悬臂梁B 梁厚控制V形槽 阵列分离槽 梁厚控制V形槽 传力阵列剖面图 保护阵列的制作 1、准备硅片。技术要求：（100）晶向，厚度500?15?m，双面抛光，无错位，晶向偏差?1?，平行度?20?m； 2、热氧化，生长3000?厚的氧化硅膜，作为腐蚀保护膜； 3、光刻过载保护浅坑和横向通气孔腐蚀窗口； 4、各向异性腐蚀至6?m深。腐蚀条件：33%KOH溶液，76?C，腐蚀速率1?m/min； 5、采用沙轮切片机切割分离各保护阵列芯片，清洗、烘干后备用。 传感器组装工艺 触觉传感器阵列组装工艺流程 三、应对办法—政策学习 1.政策培训、学习 相关法规 1.财政部 国家税务总局关于印发《营业税改征增值税试点方案》的通知 （财税【2011】110号） 2.财政部 国家税务总局关于在上海市开展交通运输业和部分现代服务业营业税改征增值税试点的通知 （财税【2011】111号） 3.财政部 国家税务总局关于应税服务适用增值税零税率和免税政策的通知（财税【2011】131号） 4.财政部 国家税务总局关于中国东方航空公司执行总机构试点纳税人增值税计算缴纳暂行办法的通知 （财税【2011】132号） 5.关于交通运输业和部分现代服务业营业税改征增值税试点若干税收政策的通知 （财税【2011】133号） 6.国家税务总局关于发布《营业税改征增值税试点地区适用增值税零税率应税服务免抵退税管理办法（暂行）》的公告（国家税务总局2012年13号公告） 7.关于上海市营业税改征增值税试点增值税一般纳税人资格认定有关事项的公告 （国家税务总局2011年65号公告） 8.国家税务总局关于调整增值税纳税申报有关事项的公告 （国家税务总局2011年66号公告） 9.国家税务总局关于启用货物运输业增值税专用发票的公告 （国家税务总局2011年74号公告） 10.国家税务总局关于营业税改征增值税试点有关税收征收管理问题的公告（国家税务总局2011年第77号公告） 2.软件、税控设置操作 1.及时购买增值税发票不，保证开票收款。 2.积极申请100万版发票。 已提交资料《最高开票限额申请表》，待批准。 三、应对办法—发票申领 专用发票实行最高开票限额管理：最高开票限额，是指单份专用发票开具的销售额合计数不得达到的上限额度。 最高