MEMS传感器产业全景解析.docVIP

MEMS系统即微机电系统，是指可批量制作的，集微型传感器、执行器、机械结构、电源能源、信号处理、控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微米或纳米级器件或系统。 MEMS传感器是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域，其采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。 与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。 同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。 MEMS技术是21世纪具有革命性的高新技术之一。 1947年美国贝尔实验室晶体管的发明是整个行业发展的起源；1987年美国伯克利加州大学发明了微马达，被认为是MEMS技术的开端；1993年ADI公司的微加速度计产品大批量应用于汽车防撞气囊，MEMS正式走入产业化阶段。 近年来国内传感器技术及产业快速发展，同时受国内物联网、5G、人工智能等技术的推动，传感器向着MEMS化、智能化、网络化、系统化的方向持续发展。 机构测算，MEMS＆传感器代工产能有望增加至2023年的470万片/月。 MEMS产业链：涉及四大环节 MEMS产业链主要涉及设计研发、生产制造、封装测试、系统应用四大环节。 MEMS产业链的上游包括MEMS器件设计、材料和生产设备的研发和供应，中游包括MEMS器件的制造加工和封装测试、下游使用ME