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- 2022-08-15 发布于广西
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基础材料
国产TCO 玻璃从0 到1
TCO 镀膜玻璃是薄膜电池组件的重要部分
镀膜玻璃是指通过在玻璃表面涂镀一层或多层金属、合金或金属化合物薄膜,以改变玻璃
的光学性能,满足某种特定要求的玻璃。镀膜玻璃根据其涂镀层物质的不同而表现出不同
的性质,而根据其不同的性质和应用场景镀膜玻璃可大致分为三类:热反射玻璃、低辐射
(Low-E)玻璃、导电玻璃。热反射玻璃表面镀层主要为铬、钛等金属或其化合物,可呈现
丰富的色彩,对红外线有较高的反射率而对紫外线有较高的吸收率,可减少阳光对室内带
来的热量。低辐射玻璃表面镀层主要为锡、银、铜等金属或其化合物,对可见光有较高的
透射率,对波长较长的红外辐射有较高的反射率,减少辐射的同时有利于室内采光。
TCO (Transparent conductive oxide)玻璃即透明导电氧化物镀膜玻璃属于导电玻璃,具
有较好的光透过率和导电性能。根据靶材和掺杂物的不同,TCO 玻璃主要有ITO 镀膜玻璃、
FTO 镀膜玻璃和AZO 镀膜玻璃三种,其主要原材料为TCO 靶材(包括掺杂物)、玻璃原片
(主要为超薄玻璃基板),生产商通过镀膜设备将掺杂的TCO 靶材涂镀在玻璃原片上。TCO
玻璃的镀膜过程可在玻璃生产线上进行(在线),也可脱离生产线单独进行(离线),生产
工艺主要分为物理沉积(PVD )、化学气相沉积(CVD )等。根据镀膜使用的TCO 及掺杂
物的不同,TCO 玻璃具有不同的导电性能和光透过率,可被广泛应用于电子显示、薄膜及
钙钛矿光伏电池、建筑玻璃等产品上。
图表1:TCO 镀膜玻璃产业链示意
注:Von Ardenne (未上市)、Oerlikon (OERL SW )、CVV 即CVD Equipment Corporation (CVV US )、First Solar (FSLR US )、
三星(00593 KS )、LG (LPL US)
:《 Comparison Between Chemical Vapor Deposition CVD and Physical Vapor Deposition PVD Coating Techniques: A
Review Paper》(2021 年8 月1 日,作者:Ali Musbah 等)、旗滨集团招股说明书、
TCO 玻璃的特性首先由其使用的TCO 靶材决定,常见的 ITO 镀膜玻璃、FTO 镀膜玻璃和
AZO 镀膜玻璃分别使用锡掺杂氧化铟(In O )、氟掺杂氧化锡(SnO )和铝掺杂氧化锌(ZnO)
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作为TCO 靶材。ITO 玻璃的主流生产工艺是磁控溅射,属于 PVD 中的一种,由于其具有
良好的导电性能,可作为玻璃电极产品被广泛应用于平板显示器行业。ITO 玻璃初期也曾应
用于薄膜光伏电池的前电极,但随着对光吸收性能要求的提高,TCO 玻璃还必须具备提高
光散射的能力,而 ITO 镀膜很难做到这一点且其应用于太阳能电池时在等离子体中不够稳
定,因此在薄膜光伏电池上逐渐被FTO 玻璃替代。
FTO 玻璃主要采用CVD 工艺镀膜,其导电性略差于 ITO 玻璃,起初可作为Low-E 玻璃应
用于建筑上。通过对原有生产配方和工艺
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