真空的相关知识.docxVIP

宋停云与您分享 宋停云与您分享 § 第 1 部分 真空的初步知识 基本概念 1． 真空是指在给定空间内低于一个大气压力的气体状态，也就是该空间的气体分子密度低于该地区大气 压的气体分子密度。 2． 测量单位：帕斯卡（Pa） 1Pa 就是 1m2 面积上作用 1N 的压力。 1 大气压=1.03×105Pa 3． 真空度：表示真空状态下气体的稀薄程度。通常用压力表示单位（ Pa） 4． 压升率：单位时间内，真空度降低的速率。单位：Pa/h 5． 常用泵阀的符号表示 ① 旋片泵：单级 多级 ② 罗茨泵： ③ 扩散泵： ④ 挡板阀 ⑤ 阀门（不指明类型） 6． 真空泵的抽气速率（简称抽速）（单位：L/S） 当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上指定位置测得的平衡压力之比。 7． 极限真空度：（单位：Pa） 在规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向平稳的最低压强。 8． 真空泵的型号及规格表示法 旋片泵表示名称：X，双级旋片泵表示名称：2X， 罗茨泵表示名称：ZJ，P 表示它的排气口位置是旁开。（厂家的一种表示，不带有普遍性。） 以下两种泵后面有的数字是它的抽速。 2X-70，ZJ-600 扩散泵的表示名称：K，T 表示凸腔泵，其后面的数字表示为它的进气口的几何尺寸。 KT-600，KT-400 设备的介绍 30kg、100kg、120kg 三种设备的介绍以 100kg 为例重点介绍： 整套设备由控制系统（电控系统）、炉壳、加热系统、真空系统、水冷系统、充放气系统、气动系统、风冷 换热系统、进出料系统等九个系统组成，以下分别介绍： 1． 控制系统：由电控柜、各种测量仪表、热电偶、加热电源组成。 2． 炉壳是由炉体、炉门、炉腿、锁紧装置等几部分组成。 炉体：是由筒体及各个法兰接管组成，炉体是双层水冷夹套结构，中间是冷却循环水。炉体上带有 电极接口、真空系统接口、热偶座接口、风冷换热接口、热偶接口、充放气接口、水冷接口等组成。炉门上带有观察窗，可以观察工作情况。 宋停云与您分享 宋停云与您分享 3． 加热系统（加热室）：是由加热器（炉丝）、绝缘件、炉床、保温屏、紧固件及保温毡和加热室外框组成。加热室又分主体及前后端屏，前端屏连接在炉门上，装取料更为简单、方便。 4． 水冷系统：是由进水管组件、不锈钢球阀、水管及回水箱组成。 5． 充放气系统是由手动隔膜阀、电磁阀、管路、气压表等组成。 见图 1: 6． 气动系统是由二位五通阀、气路、调节阀、气动三连件等组成。 7． 风冷换热系统：是由电机、叶轮、换热器、外壳、电极引出组成。整个系统全部设计成静密封结构， 避免了动密封易损坏的缺点。 8． 进出料系统由料车和轨道组成。 9． 真空系统：120kg 真空系统是由 KT-600 扩散泵+ZJP-600 罗茨泵+2X-70 旋片泵（2 台）及管路、阀门组成。见图 2 三种常见泵介绍 2X-70 旋片泵 宋停云与您分享 宋停云与您分享 旋 片 泵 （ 图 3） 1—泵体；2—转子；3—旋片；4—端盖；5—弹簧 ① 工作原理：2-X70 旋片泵是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为大气到 6.7×10-2（Pa） 属于低真空泵。旋片泵分单级和双级两种。所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来。以获 得较高的真空度。旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等零件组成。在旋片泵的泵腔内偏 心地安一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵 腔内壁滑动。两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成 A、B、C 三部分，见图 3。当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间 A 的容积是逐渐增大的（压力降低），正处于吸气过程。而与排气口相通的空间 C 的容积是逐渐缩小的（压力升高），正处于排气过程。居中的空间 B 的容积也是逐渐减小的（压力升高），正处于压缩过程。由于空间 A 的容积逐渐增大（即膨胀），气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间 A 内的压强，因此将气体吸入。当空间 A 与吸气口隔绝时，即转至空间 B 的位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，最后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。如果 排出的气体通过气道而转入另一级（低真空级），由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排至大气中，就组成了双级泵，见图 4。 双 级 泵 （ 图 4） I