应用激光跟踪仪的三坐标测量机几何误差检测方法.docx

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2022-09-02 发布于河北
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三坐标测量机（coordinate measuring machine，CMM）由于测量精度高、效率高等优势，广泛应用于精密加工检测领域。作为高精度的测量基准，几何误差直接影响三坐标测量机的测量精度和整机性能，尤其是纳米级精度的三坐标测量机[1]。因此，三坐标测量机几何误差的快速、高精度检测技术是其性能提升的关键，也是三坐标测量机设计制造过程中的重点研究方向。目前，常用的机床、三坐标测量机几何误差检测手段主要有高精度实物基准测量法[2]、激光干涉仪测量法[3]、球杆仪测量法[4]、R-test等测量方法[5]。但上述测量方法存在安装调整困难、对操作者要求较高、测量耗时等缺点，且无法获取装备工