薄膜材料物理第二章薄膜的力学性质.pptVIP

三、俄歇电子能谱（AES） 以电子束激发样品元素的内层电子，可以使得该元素发射出俄歇电子。接收、 分析这些电子的能量分布，达到分析样品成分目的的仪器被称为俄歇电子能谱仪。 典型的俄歇能谱仪的示意图如图所示。为了使样品表面不受污染，俄歇电子 能谱仪工作在10-8Pa的超高真空条件下。同时，在仪器中一般还配有离子枪，可 以对样品表面进行离子溅射，以清洁样品表面或进行样品成分深度分析。 返回 四、X射线光电子能谱（XPS） 不仅电子可以被用来激发原子的内层电子，能量足够高的光子也可以作为激 发源，通过光电效应产生出具有一定能量的光电子。X射线光电子能谱仪就是利 用能量较低的X射线源作为激发源，通过分析样品发射出来的具有特征能量的电 子，实现分析样品化学成分目的的一种分析仪器。 在X射线光电子能谱仪的情况下，被激发出来的电子应该具有能量 其中v为入射X射线的频率，EB是被激发出来的电子原来 的能级能量。在入射X射线波长固定的情况下，测量激发 出来的光电子的能量E，就可以获得样品中元素含量和其 分布的情况。 返回 五、卢瑟福背散射技术（RBS） 具有较高能量而质量较小的离子在与物质碰撞的过程中会发生散射现象，这 一相应的过程被称为卢瑟福散射。利用这一物理现象作为探测、分析薄膜材料的 化学成分的分布的方法，被称为卢瑟福背散射技术。 如图(a)所示，