第二章材料现代分析测试方法-光电子能谱与俄歇电子能谱.ppt

X射线光电子能谱采用灵敏度因子法定量结果的准确性比俄歇能谱相对灵敏度因子法定量好，一般误差可以不超过20%。 由于在一定条件下谱峰强度与其含量成正比，因而可以采用标样法（与标准样品谱峰相比较的方法）进行定量分析，精确度可达1-2%，但由于标样制备困难费时，且应用具有一定的局限性，故标样法尚未得到广泛采用。 四、元素深度分布分析 建筑玻璃涂层 五、元素成像 聚乙烯 六、微区分析 七、 化学结构分析 通过谱峰化学位移的分析不仅可以确定原子存在于何种化合物中，还可以研究样品的化学结构。 碳原子有两种化学环境： 一种是苯环上的碳； 一种是羧基碳。 C1s谱是两条分开的峰。 两峰的强度比4:6、2:6和1:6。 恰好符合3种化合物中羧基碳和苯环碳的比例。 由此种比例可以估计苯环上取代基的数目，从而确定其结构。 图 “1，2，4，5-苯四甲酸”、“1，2-苯二甲酸”、苯甲酸钠C1s光电子谱图 聚氟乙烯C1s对应于不同的基团 -CFH-与 -CH2-，成为两个部分分开且等面积的峰。 图 聚乙烯与聚氟乙烯的C1s谱图 第四节 俄歇电子能谱分析 一、 俄歇电子能谱的基本原理 （一）俄歇效应 原子K层电子被击出，L层电子（L2）向K层跃迁，其能量差ΔE=EK-EL2可能不是以产生一个K系X射线光量子的形式释放，而是被邻近的电子（L2）所吸收，使这个电子受激发而成为自由电子，这就是俄歇效应，这个自由电子就称为俄歇电子。 俄歇电子常用参与俄歇过程的三个能级来命名，如KL2L2俄歇电子。 俄歇电子的能量与参与俄歇过程的三个能级能量有关。 ΔE=EK-EL2-EL2 能量是特定的，与入射X射线波长无关，仅与产生俄歇效应的物质的元素种类有关。 图 光电子、俄歇电子和荧光X射线三种过程示意图 （二）俄歇电子的动能 俄歇电子能谱主要是依靠俄歇电子的能量来识别元素的。 因此准确了解俄歇电子的能量对俄歇电子能谱的解析是非常重要的。 元素的俄歇电子能量可从手册上直接查得，不需要进行理论计算。 为了更好地理解俄歇电子能量的物理概念以及理解俄歇效应的产生，下面简单介绍俄歇电子动能的半经验计算方法。 俄歇电子的能量可以从跃迁过程涉及的原子轨道能级的结合能（电离能）来算。 对于WXY俄歇跃迁过程所产生的俄歇电子的能量EWXY(Z)可以用下面的方程表示： EWXY(Z)=EW(Z)-EX(Z)-EY(Z+?) EW(Z)——内层W轨道能级的电离能； EX(Z)——外层X轨道能级的电离能； EY(Z+?)——双重电离态的Y轨道能级的电离能。 Δ的确切值介于1/2～3/4之间 式中Ew(Z)-Ex(Z)是x轨道电子填充w轨道空穴时释放的能量，Ey(Z+Δ)是y轨道电子电离时所需要的能量。 因为EWXY(Z) = EWYX(Z)，所以， (取Δ=1) EWXY(Z)=EW(Z)-1/2[EX(Z)+EX(Z+1)]-1/2[EY(Z)+EY(Z+1)] EX(Z+1)为原子序数为Z+1元素的原子外层X轨道能级的电离能； EY(Z+l)为原子序数为Z+l元素的原子外层Y轨道能的电离能。 对于固体发射的俄歇电子，还需要考虑逸出功，因此可以用下式来表示俄歇电子的能量： EWXY(Z)=EW(Z)-1/2[EX(Z)+EX(Z+1)]-1/2[EY(Z)+EY(Z+1)]-(-w) 式中：-w为电子的逸出功。 （二）俄歇电子强度 俄歇电子的强度是俄歇电子能谱进行元素定量分析的基础。 由于俄歇电子在固体中激发过程的复杂性，到目前为止还难以用俄歇电子能谱来进行绝对的定量分析。 俄歇电子强度除与元素的量有关外，还与原子的电离截面、俄歇产率以及逃逸深度因素有关。 1．电离截面 指当原子与外来粒子（光子、电子或离子）发生作用时，发生电子跃迁产生空位的几率。电离截面QW是激发能EP与电离能EW比值U的函数。下图揭示了电离截面与U的关系。 图　 QW与U的关系 2. 俄歇跃迁几率与X射线荧光几率 在激发原子的去激发过程中，存在两种不同的退激发方式：一种是俄歇跃迁过程；另一种是荧光过