《电子薄膜技术》.ppt

电子薄膜技术;第一堂课主要内容;课程性质: 微电子制造方向专业课 课程特点: 内容丰富、概念性记忆性强；理论与实践 相结合 通过对本课程的学习，能够掌握电子薄膜的主要制 备技术及相关知识，为从事微电子、固体电子薄膜 及相关领域的研究、设计和生产打下基础。 ;总学时：48学时 周学时：4学时 课时安排：1-12周；周一5-6节、周四 1-2节 学 分：3学分 课外学时：12学时（6次课下作业） ;教材： 《薄膜材料制备原理、技术及应用》 唐伟忠 著，冶金工业出版社，2003 参考??： 《薄膜技术与薄膜材料》田民波，清华大学出版社 《薄膜材料与薄膜技术》郑伟涛，化学工业出版社 《半导体薄膜技术与物理》叶志镇等，浙江大学出版社 《Material Science of Thin Films－Deposition Structure》 M. Ohring，世图影印版 ;第一堂课主要内容;1、上课时必须将手机关机或静音； 2、上课不允许讲话，不允许做与本课程无关的事； 3、有事提前向老师请假（开假条），课上随机点名； 4、上课请杜绝睡觉； 5、如果出现破坏教学恶劣的行为立即上报系或者学校给予处理； 6、上课不需要带电脑！ 7、请每人准备一个作业本！（笔记）;类别;学习方法：以教材和课件内容为主，做好笔记，认真完成作业，养成