静电雾化工艺及氧化锌薄膜气敏特性的实验研究.docxVIP

摘 要 I 静电雾化工艺及氧化锌薄膜气敏特性的实验研究 II 摘 要 静电雾化是利用外加高压电场拉伸溶液，使其流变形成泰勒锥并在尖端产生射流；在内部电荷排斥力的作用下，带电射流在空间破碎成微小液滴。静电雾化以其操作简便、材料兼容性好、颗粒分散性好等优点，在微纳系统制造、传感检测、生物组织等多个领域表现出了巨大应用潜力。优化静电雾化参数，增加静电雾化颗粒的均匀性，实现微纳颗粒的沉积位置控制已经成为静电雾化技术应用的关键。 在线观测分析了静电雾化射流的不同射流模式，研究了锥射流喷射模式的控制条件；射流长度随着电压和供液速率的增大而增大，随着喷头内径的增大而减小；而雾化角随着施加电压和供液速率的增大而减小，随着喷头内径的增大而增大。研究了锥射流模式下沉积的液滴聚集的情况，并分析了溶剂挥发完全后固体颗粒直径大小的变化趋势，颗粒直径随施加电压的增大而减小，随溶液浓度、供液速率和极间距的增大而增大。 研究了高导电率二水合醋酸锌微米薄膜静电雾化快速喷印调控规律；通过采用微细玻璃针作为静电雾化喷头，缩小极间距，减小了临界施加电压值和射流表面电荷密度，有效地抑制了喷头处的溶液回流和射流不稳定，缩小了静电雾化制备薄膜的沉积范围；对比了不同内径的玻璃针喷印的雾化线宽并比较了径宽比，径宽比随着玻璃针的内径的增大而减小。利用玻璃针可进行小于100μm线宽薄膜的快速喷印，并且薄膜的线宽随着收集时间和收集板运动速度的增加而增大。 通过静电雾化喷印的二水合醋酸锌溶液作为前驱体，在500℃条件下烧结成氧化锌，在对电极和叉指电极上构建不同气敏元件，并测试了乙醇气体中的检测传感性能。气敏元件响应电阻比随着乙醇气体浓度的增大呈增大趋势；而响应时间随着乙醇气体浓度的增大而减小，恢复时间随着乙醇气体浓度的增大而增大。研究了元件的多次循环检测性能，显示出了很好的重复性和稳定性。150℃时静电雾化气敏元件具有最大响应电阻比，表现出最佳传感特性。薄膜收集时间的增大将提升元件响应电阻比。 通过本文的研究，明确了静电雾化锥射流的射流变化规律，实现了微米尺度功能性薄膜的喷印，有利于扩大静电雾化的应用范围。 关键词：静电雾化；射流变化；薄膜制备；气敏传感 Abstract III Experiments on the Electrospray Process and Gas Sensing Characteristics of ZnO Thin Film PAGE IV Abstract Electrospray (ES) is a new technology to print micro/nano structures, which utilizes electric field to change the droplet to Taylor cone. And then fine jet would be ejected from the tip of Taylor cone and disintegrated into small particles with diameter less than 1μm. Due to simple operation, excellent compatibility of materials and dispersion of particles, ES show great application potential in a number of areas， such as micro-nano systems manufacturing, sensing and biological tissue. Optimization of the electrospray process parameters, increasing uniformity of e electrospray particles and achieving the control of micro-nano particle deposition have become critical to the applications of electrospray technology. Jet morphology of different jet modes are observed and analyzed, and the control condition of cone-jet mode is studied. The length of jet enlarges with increasing of the voltage and flow rate of solution, and decreases with increasing of t