静电纺丝制备无机材料纳米纤维的研究.pdfVIP

摘 要 摘 要 本文主要研究静电纺丝法制备 PZT 、BNT 、ZnO 三种无机氧化物材料的纳 米纤维以及薄膜的实验，对所制备的样品进行了表征分析，最后理论分析了PZT 微纳米谐振器在电场激励下的振动情况。 首先，研究了静电纺丝法制备PZT 纳米纤维的实验，包括三个部分。第一， 静电纺丝法制备图形化PZT 纳米纤维，主要是通过使用MEMS 工艺制造含有电 极的收集板以及在静电纺丝电场中增加辅助电压的方式对传统静电纺丝装置进 行改进，从而达到收集有序、定向排列 PZT 纤维的目的。第二，静电纺丝法制 备PZT 纳米纤维薄膜，采用金属框架方式收集PZT 纤维，连续纺丝后获得致密 的纤维薄膜，然后沉积到收集板上。此方法的优点是便于制备各种基底的 PZT 薄膜，而且能够获得多孔膜结构。第三，静电纺丝法制备单根 PZT 纤维，采用 扫描探针结合金属框架接收的方式获得单根PZT 纤维，为制备PZT 微纳米谐振 器提供了制作方案。 其次，研究了静电纺丝法制备BNT 纤维薄膜实验。此实验主要是研究静电 纺丝法制备无铅陶瓷纳米纤维以及薄膜，包含溶胶-凝胶法制备BNT 薄膜以及静 电纺丝法制备BNT 纤维两部分。 然后，研究了静电纺丝法制备 ZnO 纤维的实验。此实验的目的在于采用静 电纺丝法制备出金属氧化物纤维。实验中制备出直径均匀的ZnO 纤维以及分布 致密的ZnO 薄膜。 最后，建立了PZT 微纳米谐振器模型并分析了其在电场激励下的振动情况， 为单根PZT 纤维在微电子器件中的应用提供了理论依据。 关键词：静电纺丝；无机材料；纳米纤维；薄膜；谐振器 I Abstract Abstract In this paper, we studied the experiments of preparation of nanofibers and thin films of PZT, BNT and ZnO by electrospinning method. And we characterized and analyzed the prepared samples. At last, we did the theoretical analysis of the vibration of the PZT micro-nano resonators excited by the electric field. First, we studied the experiment of preparation of PZT nanofibers by electrospinning method. This experiment contained three parts. The first part was graphical electrospinning of PZT nanofibers. We improved the traditional electrospinning device by using MEMS process manufactured the collector plates contained electrode and increased the secondary voltage in the electric field of electrospinning. So we collected orderly and aligned PZT fibers. Second, the preparation of PZT nanofibers f