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2022年至纯科技研究 1、至纯科技：中国半导体湿法清洗设备巨头公司 1.1、深耕制程设备、工艺支持设备、高纯工艺系统业务 公司的主营业务主要包括半导体制程设备、工艺支持设备的研发和生产销售，以 及由此衍生的高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务。 公司的经营战略确立为“关注核心工艺，服务关键制程”，立志成为国内领先的 半导体工艺装备、工艺系统及材料提供商，并努力成为参与国际竞争的中国半导 体装备企业。 公司布局的板块中，半导体板块是近年公司经营上配置资源的重点，也是目前增 长最快的业务板块。在半导体板块，公司基于能力圈战略布局了制程设备、支持 设备及系统集成、电子材料和专业服务四大类产品和服务，业务贯穿半导体领域 用户的建厂扩厂、成熟运营以及技术升级等全生命周期。 1.1.1、半导体清洗制程设备 随着半导体芯片工艺技术的发展，工艺技术节点进入先进制程，随着工艺流程的 延长且越趋复杂，每个晶片在整个制造过程中需要超过 200 道清洗步骤，晶圆 清洗变得更加复杂、重要及富有挑战性；清洗设备及工艺也必须推陈出新，使用 新的物理和化学原理，在满足使用者的工艺需求条件下，兼顾降低晶圆清洗成本 和环境保护。 公司湿法工艺设备所部署的技术路线：提供槽式设备及单片式设备覆盖目前国内 产线成熟工艺及先进工艺涉及的全部湿法工艺。公司提供的湿法设备可以应用在 先进工艺上，主要为存储（DR