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PAGE PAGE 1 什么叫真空？真空特点是什么？ 真空区域的划分是怎样的？其物理基础是什么？ 简述气体和蒸汽的区别。 何为物理吸附？何为化学吸附？ 说明机械泵的抽气原理。影响机械泵极限真空的因素有哪些？ 说明扩散泵的结构和原理。影响扩散泵极限真空的因素有哪些？ 说明分子泵的工作原理。 说明离子泵的结构、气体放电的过程、排气的原理。 热导真空计测量真空的基础是什么？ 说明电离真空计的结构和原理。影响该真空计的测量下限是什么？如何改善 测量下限？ 与电离真空计比较，BA 规的结构有哪些改进？为什么能测量更低的真空压强？ 简述真空系统漏气的静态判断的方法。 什么叫压力检漏？试述了卤素检漏法的原理。 叙述氦质谱检漏仪的原理、仪器结构、方法。 画出电磁阀的结构，说明其工作原理及其用法。 说明图 1 的真空系统的使用规程。 真空镀膜室 真空镀膜室 放气阀 主阀 电 磁 阀 规 管 旁 通 阀 机械泵 扩散泵 水 前置阀 电炉丝 图1 RF 溅射台真空抽气系统 写出真空系统的抽气方程，其中各量的意义。 多根管道串联而成的静态真空系统，写出其流导、抽速以及压强的方程。说 明其意义。 说明真空蒸发镀膜的原理。 对电阻蒸发源的材料有何要求? 高频感应加热镀膜是什么样的结构？它有何应用价值？ 为什么 e 型枪比直枪优越？ 分子束外延的机理是什么？有何特点？ 说明直流辉光放电的电流电压特性。 射频辉光放电的特点以及原因。 说明射频溅射为什么能溅射绝缘材料？ 说明溅射离子的能量对成膜速率的影响。 离子入射到材料表面会产生哪些效应？成膜主要靠哪些部分？ 说明磁控溅射的原理和特点。 为什么反应溅射镀膜比反应蒸发镀膜效果好？ 说明离子镀的原理与特点。 离子镀膜的成膜条件是什么？ 说明电弧离子镀的结构原理和特点。 说明化学气相沉积的主要过程。 说明化学气相沉积的特点。 任何 CVD 所用的反应体系都必须满足三个条件是什么？ 说明低压化学气相沉积设备、优点。 说明 PECVD 的原理与优点。 说明 MOVCD 的特点。 说明低温化学气相沉积薄膜的意义。