现代分析测试技术x射线光谱分析.pptxVIP

会计学; 将产生的特征X射线按波长或能量展开，所得谱图即为波谱或能谱，从谱图中可辨认元素的特征谱线，并测得它们的强度射线光谱分析。据此进行材料的成分分析，这就是X射线光谱分析。; 用于探测样品受激产生的特征射线的波长和强度的设备，称为X射线谱仪；有以下两种： 利用特征X射线的波长不同来展谱，实现对不同波长X射线检测的波长色散谱仪(WDS)，简称波谱仪。 利用特征X射线的能量不同来展谱，实现对不同能量X射线检测的能量色散谱仪(EDS)，简称能谱仪。 区别： 横坐标：WDS的是按波长标注；EDS是按能量标注。 分析方法：WDS是光学方法，通过分光晶体的衍射来分光展谱； EDS是利用电子学的方法展谱。;11.1 电子探针仪; 目前最常用的能谱仪是应用Si（Li）半导体探测器和多道脉冲高度分析器将入射光子按能量大小展成谱的能量色散谱仪—Si（Li）X射线能谱仪。 这种谱仪既可将射线展成谱，作化学成分分析，同时又可产生衍射花样，作结构分析，因而又称它为能量色散衍射仪，其关键部件是检测器，即锂漂移硅固态检测器。;11.2.1 Si（Li）半导体探测器 X射线光子由锂漂移硅Si检测器收集。;11.2.2 能量色散谱仪的结构和工作原理; 多道分析器有一个由许多存储单元（称为通道）组成的存储器。与X光子能量成正比的时钟脉冲数按其高