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- 2022-11-08 发布于重庆
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附录 D :稀冶项目作业区洁净度等级
D.0.1 洁净室及洁净区空气洁净度整数等级划分详见表 D-1 。
表 D-1 洁净室及洁净区空气洁净度整数等级划分
大于或等于要求粒径的最大浓度限值 3
空气洁净度 (pc/m )
等级(N) 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm
1 10 2 — — — —
2 100 24 10 4 — —
3 1000 237 102 35 8 —
4 10 000 2370 1020 352 83 —
5 100 000 23 700 10 200 3520 832 29
6 1 000 000 237 000 102 000 35 200 8320 293
7 — — — 352 000 83 200 2930
8 — — — 3 520 000 832 000 29 300
9 — — — 35 200 000 8 320 000 293 000
注:1.按不同的测量方法,各等级水平的浓度数据的有效数字不应超过 3 位。
2.空气洁净度等级等效采用国际标准 《洁净室及相关被控环境 第一部分,空气洁净度
——
的分级》IS0 14644-1 。
稀冶项目生产工艺对生产作业区洁净度要求 参考 详见表 。各项目需根据项目
D.0.2 ( ) D-2
具体工艺需求情况确定。
表 稀冶项目生产工艺对生产作业区洁净度要求 参考
D-2 ( )
序
生产环境 空气洁净度等级(N)
号
1 钽粉、铌粉的制备与包装 ≥6
核级锆 核级铪 破碎筛分与包装 ≥
2 ( ) 8
单晶 拉制、切片 ≥8
3
(铌酸锂、钛酸钡、锗等) 抛光、包装 ≥6
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