- 2
- 0
- 约5.4千字
- 约 12页
- 2022-10-18 发布于上海
- 举报
洁净室简介
提纲
一、洁净室之定义二、洁净室的等级
三、洁净室所要控制的内容四、洁净室之分类
五、洁净室气流之流动六、洁净室之构成
一、洁净室之定义
洁净室(Clean Room),也叫无尘室。
「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特
性。
洁净室最主要之作用 在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气
的洁净度及温、湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造, 此空间我们称之为「洁净室」。
污染源知识
1、发尘量
洁净室内的发尘量,来自设备的可考虑通过局部排风排除,不流入室内; 产品,材料等在运送过程中的发尘与人体发尘量相比,一般极小,可忽略;由于金属半壁(彩钢夹心板)的应用来自建筑表面的发尘也很少,一般占 10%以下, 发尘主要来自人,占 90%左右。在人的发尘量上,由于服装材料和样式的改进, 发尘绝对量也不断减少。
A、材质:棉质发尘量最大,以下依次为棉、的确良、去静电纯涤纶、尼龙。B、样式:大挂式发尘量最大,上下分装型次之,全罩型最少;
C、活动:动作时的发尘量一般达到静止时间 3-7 倍;
D、清洗:用溶剂洗涤的发尘量降至用一般水清洗的五分之一。
室内维护结构表面发尘量,以地面为准,大约相应 8 平方米地面时的表面发尘量与一个静止的人的发尘量相当。
2、发菌量
分析国外试验资料可以认为:
(1) 洁净室内当工作人员穿无菌服时:
静止时的发菌量一般为 10-300 个/min.人
躯体一般活动时的发菌量为 150-1000 个/min.人快步行走时的发菌量为 900-2500 个/min.人
(2) 咳嗽一次一般为 70~700 个/ min.人
喷嚏一次一般为 4000~62000 个/ min.人
(3) 穿平常衣服时发菌量 3300~62000 个/ min.人
(4) 无口罩发菌量:有口罩发菌量 1:7~1:14
(5) 发菌量:发尘量 1:500~1:1000 据国内事例:
(6) 手术中人员发菌量 878 个/ min.人
所以,可知洁净室内无菌衣人员的静态发菌量一般不超过 300 个/ min.
人,动态发菌量一般不超过 1000 个/ min/人,以此作为计算依据是可行的。
二、洁净室的等级
世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准 209 为多, 以下仅就 209D 及 209E 和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。
209E 与 209D 等最大之不同在于 209E 表示单位增加了公制单位,洁净室等级以‵M′字头表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推,配合国际公制单位之标准化,M 字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中=0.5μm 之微尘粒子数目字以 10 的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5….表示。
美国联邦标准FS 209D 都以英制每立方英尺为单位,日本则是
采用公制,即以每立方公尺为单位,以 0.1μm 微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8 表示, 最好的等级为 Class 1,最差则为 Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为 10 的幂次方,取其指数而得。
ISO 14644-1 标准
国际标准化组织 ISO 正在制定洁净室的系列标准,它涵盖了洁净室的重要项目,例如设计、测试、运行、生物污染等。1999 年出版了其第一个标准ISO14644-1,题为“空气洁净度等级“并给出了洁净室分级方法。
ISO 的洁净室级别按下述公式计算:
其中:
Cn 为大于等于选定粒径之粒子的最大允许浓度(粒子数量/每立方米空气) Cn 四舍五入至整数,非零有效数字不超过3 个。
N 是 ISO 的级别数字,不大于 9。可规定ISO 的中等级别,等级差最小为0.1。D 是所选定的粒径,以 μm 为量纲的常数。
任何选定粒径的悬浮粒子之最大允许浓度,也就是级别,都可以按 3.1 的公式算出。为说明分级限制,表 3.3 给出了ISO14644-1 的分级级别。
应当注意的是,洁净室的 ISO14644-1 级别与联邦标准 209 的级别可以转换。如果 ISO 标准的每立方米粒子浓度被 35.2 除,就转换成没立方英尺的粒子计数。就可以在表 3.3 中找到联邦标准 2090.5μm粒径的相应级别。例如,ISO 5 级相当于联邦 209 的 100 级或 M3.5 级。
三、洁净室所要控制的内容
能除去空气中飘游之微
您可能关注的文档
最近下载
- 江苏海事考试真题及答案.doc VIP
- 2025山东潍柴(烟台)新能源动力科技有限公司招聘考试参考试题及答案解析.docx VIP
- 2025山东潍柴(烟台)新能源动力科技有限公司招聘考试参考题库及答案解析.docx VIP
- 《石油化工行业安装工程预算定额》解释说明.pdf VIP
- 2025年度民主生活会“五个带头”个人对照检查发言材料.docx VIP
- JB∕T 11431-2020 固结磨具 磨钢轨砂轮.pdf
- 学堂在线 雨课堂 学堂云 不朽的艺术:走进大师与经典 章节测试答案.docx VIP
- 全息经络刮痧疗法培训资料.ppt VIP
- 《GB∕T 29246-2023(ISO∕IEC 27000:2018)信息安全技术 信息安全管理体系 概述和词汇》理解与应用指导材料(雷泽佳编制-2024A0).docx VIP
- 学堂在线 雨课堂 学堂云 遥测原理 章节测试答案.docx VIP
原创力文档

文档评论(0)