《新型膜材料》课程教学大纲.pdfVIP

《新型膜材料》课程教学大纲 课程编号：061060140 总学时及其分配：总学时 16，其中授课学时 16 学分数：1 适用专业：材料化学 任课学院、系部：材料学院，材料化学系 课程负责人： 编制日期： 一、课程简介 《新型膜材料》薄膜材料与技术是材料化学专业选修课，通过本 课程的教学，帮助学生掌握薄膜材料与薄膜技术等理论与方法。 本 课程的重点是真空及薄膜的物理基础、薄膜工艺及薄膜材料等。 二、课程教学的目标 通过本课程的学习，要求学生能够使用多种类型薄膜材料的设 备、分析多种类型的薄膜的性能，并初步具备开发新设备、制备新材 料的能力。学会分析薄膜结构，以及电子态的基本问题。并能够运用 基本理论分析实际的薄膜、多层膜有关问题。 为学习材料化学专业 打好基础。 三、课程教学的基本内容及教学安排 第一章 真空技术基础 (2 学时) 第一节：真空的基本知识 第二节：稀薄气体的基本性质 第三节：真空的获得 第四节：真空的测量 第二章 真空蒸发镀膜法 (2 学时) 第一节：真空蒸发原理 第二节：蒸发源的蒸发特性及膜厚分布 第三节：蒸发源的类型 第四节：合金及化合物的蒸发 第五节：膜厚和沉积速率的测量与监控 第三章 溅射镀膜 (2 学时) 第一节：溅射镀膜的特点 第二节：溅射的基本原理 第三节：溅射镀膜类型 第四节：溅射镀膜的厚度均匀性 第四章 离子镀膜 (2 学时) 第一节：离子镀原理 第二节：离子镀的特点 64 第三节：离子轰击的作用 第四节：离子镀的类型 第五章 化学气相沉积 (2 学时) 第一节：化学气相沉积的基本原理 第二节：化学气相沉积的特点 第三节：CVD 方法简介 第四节：低压化学气相沉积 第五节：等离子体化学气相沉积 第六节：其他化学气相沉积法 第六章 溶液镀膜法 (2 学时) 第一节：化学反应沉积 第二节：阳极氧化法 第三节：电镀法 第四节：LB 膜的制备 第七章 薄膜的形成 (2 学时) 第一节：凝结过程 第二节：核形成与生长 第三节：薄膜形成过程与生长模式 第四节：溅射薄膜的形成过程 第五节：薄膜的外延生长 第八章 薄膜的性质 (2 学时) 第一节：薄膜的力学性质 第二节：金属薄膜的电学性质 第三节：介质薄膜的电学性质 第四节：半导体薄膜的性质 第五节：薄膜的其他性质 四、本课程与其他课程的联系（先修后续关系） 学习本课程前应先修《高等数学》《大学物理》《材料制备技术》 《材料科学研究方法》等课程的知识，同时该课程对本专业其他专业 课《纳米材料学》《超分子化学》《功能高分子》等的学习具有重要的 基础作用。 五、建议使用教材与教学参考书 1、杨邦朝，王文生主编，《薄膜物理与技术》成都电子科技大学出版 社，1994。 2 、陈国平主编，《薄膜物理与技术》，东南大学出版社，1993。 3、唐伟忠，《薄膜材料制备原理、技术及应用》，冶金工业出版社， 1999。 六、教学方法与学习建议（重点、难点及后续自主学习建议） 65 重点：气体分子运动论的基本概念, 气体的流动状态与真空抽 速，真空泵简介与真空的获得，物质的热蒸发，元素的平衡蒸气压， 薄膜沉积的厚度均匀性和纯度，阴影响效应，真空蒸发装置 ，气体 放电现象与等离子体，辉光放电，溅射沉积装置，直流溅射，射频溅 射， 磁控溅射，离子束溅射，化学气相沉积的反应类型式，连续薄膜的形 成及其机制，薄膜厚度的测量，薄膜结构的表征方法，薄膜成分的表 征方法。 难点：真空的测量，薄膜的成核长大动力学，物质的溅射现象， 溅射产额，化学气相沉积过程的原理，气体的相关原理，表面吸附及 表面化学反应，表面扩散，薄膜生长过程与生长模式，薄膜附着力的 测量方法。 七、课程考